Устройство для обработки кромок детали Советский патент 1986 года по МПК B24B9/02 

IS

1C

S й

00 Изобретение относится к устройствам для механической обработки полупроводниковых материалов, а точнее для обработки фасок и закругления ос трых кромок полупроводниковых пласти Целью изобретения является повышение качества обработки. На фиг.1 приведено устройство, общий вид; на фиг.2 - держатель детали. На корпусе 1 смонтированы привод 2 вращения шпинделя 3 инструмента 4, выполненного с V-образной рабочей частью, механизм относительного перемещения изделия и инструмента,,выполненный в виде рычага 5 с подвижным противовесом 6, на который установлен привод 7, шпиндель 8 с вмонтированной в него магнитной вставкой &, к которойпристыкован держатель 1 изделия 11, выполненньш в форме диска из магнитного материала и связанный с помощью стержней 12 с резиновой вставкой 13, закрепленной на тор ;це шпинделя 8, поджим 14 для фиксаци изделия 11 на держателе 10 через про кладку 15. Устройство работает следуюшд м образом. Изделие 11 с помощью поджима 14 устанавливается в рабочее положение на держателе 10 и при включенных при водах вращения 2 и 7 подводится к ин струменту 4 с помощью подвижного рычага 5. В процессе вращения изделия происходит его обработка по контуру. Возникающие при этом ударные нагрузки, передающиеся от инструмента 4 к изделию 11, гасятся резиновой вставкой 13, связанной с помощью стержней 12 с держателем 10, скользящим по , сопрягаемой плоскости магнитной вста вки 9. При этом за счет сил.магнитного притяжения обеспечивается плотное прилегание их плоскостей, что создает условия для устранения торцового биения изделия 11 при вращении шпинделя 8. Механическая связь держателя 10 с резиновой вставкой 13 осуществляется с помощью стержней 12, jg одна

что препятствует относительном-у провороту держателя 10 и шпинделя 8 при передаче вращательного движения от привода 7 и одновременно обеспечивает возможность радиальных колебаний из- j делил за счет упругой деформации

магнитными вставками и упругими элементами со штифтами, установленными между корпусом и пластинами, причем одни из упругих элементов связаны вставки 13. При этом сила приткима изделия 11 к инструменту регулируется путем перемещения подвижного противовеса 6. Таким образом, сочетание шпинделя с вмонтированной в него магнитной вставкой с пристыкованным к нему держателем из магнитного материала в форме диска, подпружиненным для движения в радиальном направлении и фиксированным от проворота относительно шпинделя, позволяет осуществить его упругую подвеску для амортизации, радиальных высокочастотных колебаний инструмента и одновременно без приложения дополнительных усилий к изделию автоматически исключить его торцовое биение при вращении шпинделя. , Размещение быстроходного и более мощного привода вращения инструмента на неподвижном корпусе, а тихоходного и маломощного привода вращения изделия на подвижном рычаге, позволяет простыми средствами уменьшить передачу вибрации от ротора привода к инструменту и изделию, амортизировать низкочастотные колебания с большой амплитудой-. Формула изобретения Устройство для обработки кромок деталей,содержащее установленньш на основании шпиндель инструмента с приводом и держатель детали, связанный с механизмом его перемещения, выполненным в виде размещенного на основании с возможностью поворота двуплечего рычага с грузом, расположенным на его свободном конце с возможностью перемещения, отличающееся тем, что, с целью повьш1ения качества обработки полупроводниковых пластин, держатель детали снабжен приводом вращения, установленным на двуплечем рычаге, и выполнен в виде пластин, размещенных между частями корпуса. из которых подпружинена, снабжен штифтами с пластиной, а другие - с подпружиненной частью корпуса.

л

1сригЛ

А

Устройство для обработки кромок деталей позволяет увеличить эффективность и качество обработки пластин любой геометрической формы и повысить выход годных пластин за счет исключения торцового биения пластин при вращении шпинделя. Изделие 11 с помощью поджима 14 устанавливается в рабочее положение на держателе 10 и при включенных приводах вращения подводится к инструменту 4 с помощью подвижного рычага. В процессе вращения изделия происходит его обработка по контуру. Возникающие при этом ударные нагрузки передаются от инструмента 4 к изделию 11 гасятся резиновой вставкой 13, связанной с помощью стержней 12 с держателем 10,скользящим по сопрягаемой плоскости магнитной вставки 9.При этом за счет сил магнитного притяжения обеспечивается плотное прилегание их плоскостей, что создает услоi вия для устранения торцового биения из(Л делия 11 при вращении шпинделя 8. 2 ил.