Способ определения чистоты поверхности (шероховатости) Советский патент 1958 года по МПК G01B11/30 G01B15/04 G01D5/39 

Существующие способы оценки чистоты поверхностей, в том числе и основанные на интерференции света, являются косвенными. Они дают усредненные значения высот микронеровностей поверхности (средняя высота неровностей, средняя квадратичная высота и др.)- Щуповые приборы не обеспечивают точного воспроизведения профиля поверхности, а показывают лищь огибающую микронеровностей, соответствующую радиусу затупления иглы.

В отличие от существующих, предлагаемый способ дает возможность получать непосредственно на экране или фотопластинке теневое изображение поверхности любого класса чистоты путем направления потока электронных лучей на экран или фотопластинку касательно к поверхности детали, что является новым техническим достижением, расщиряющим возможности исследовательских работ в области микрогео метрии поверхностей.

На фиг. 1 представлена схема получения теневого электронно-микроскопического изображения реального профиля поверхности образца; на фиг. 2 - изображение реального профиля части образца; на фиг. 3 и 4 - электронограммы профиля поверхности щара после полировки и доводки; на фиг. 5, 6 и 7 - электронограммы профиля участка поверхности щарика после длительной эксплуатации.

В предлагаемом способе исследования микрогеометрии поверхности образца любой конфигурации разработана схема применения прибора с отраженным пучком электронов при включении только одной (второй) электромагнитной линзы.

Схема применения прибора состоит из источника электронов /, первой электромагнитной линзы 2, второй электромагнитной линзы , образца 4, пучка электронов 5, экрана или фотопластинки 6. На фиг. 2 представлено теневое электронно-микроскопическое изображение реальной поверхности части образца 1, теневое электронно-микроскопическое изображение диафрагмы 2 и экран электронографа 3.

По этой схеме поток электронов омывает край поверхности образца и на экране электронографа получается теневой рисунок профиля поверхности с чрезвычайно большой точностью, так как поток электронов свободно проникает в мельчайшие углубления и обрисовывает истинный профиль поверхности, чего не достигалось никаким другим методом в случае исследования поверхностей с чистотой от 10 класса и выше по ГОСТу 2789-51./

Кроме точного определения величины неровностей новый способ дает возможность определить характер расположения неровностей в зависимости от метода обработки.

Предмет изобретения

Способ определения чистоты поверхности (шероховатости), отли: чающийся тем, что, с целью повышения точности определения параметров, характеризующих чистоту поверхности (шероховатость), направляют поток электронных лучей на экран или фотопластинку касательно к поверхности детали и но полученному теневому изображению действительного профиля микронеровностей поверхности судят о чистоте поверхности (шероховатости)

/ г

Фиг. 2