Способ определения толщины многослойных электропроводных покрытий Советский патент 1985 года по МПК G01B7/06 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины многослойных электропроводных покрытий в машиностроении, радиотехнической и других отраслях промыш-ч ленности. Цель изобретения - повьшение точ- нрсти и упроп5ение измерения толщины многослойных электропроводных покрытий, путем измерения электродного потенциала, получаемого перемещением электрода вдоль измеряемого образца. На чертеже схематически представлено устройство, реализующее способ. Устройство содержит установленную на двухкоординатном столе 1 гальваническую ячейку 2 с электролитом 3, в который помещен исследуемый образец 4 и выполненный в виде полой трубки с ка Т иллярным отверстием подвижный электрод 5 с механизмом 6 перемещения, оснащенным реверсивным электроприводом 7, а в электрическую цепь между элек родом 5 и исследуемым образцом 4 вклю чен самопишущий высокоомный потенцио метр 8. Способ определения толщины много слойных электропроводных покрытий осуществляется следующим образом. На образце 4 для определения толщ ны электропроводного покрытия 9 выпо няют поперечный микрошлиф, погружают в гальваническую ячейку 2 с электролитом 3, депасспвирующим поверхность покрытия 9 и основного металла образца 4, и при помощи двухкоординатного стола 1 подводят к электроду 5. Одновременно приводят в движение электрод 5 с помощью реверсивного электропривода 7 и механизма 6 перемещения и привод диаграммы самопишущего высокоомного потенциометра 8. Измеряют величину электродного потенциала в процессе последовательного перемещения электрода 5 с заданным шагом по толщине покрытия 9, фиксируют момент скачка электродного потенциала и по величине перемещения электрода 5 от поверхности покрытия 9 до момента .скачка электродного потенциала определяют толщину каждого слоя покрытй, по диаграмме : электродный потенциал пе-- ремещение электрода. Соотношение между скоростью перемещения электрода 5 и скоростью движения диаграммы самопищущего высокоомного потенциометра 8 выбирают таким, чтобы записанная на диаграмме кривая электродного потенциала имела размеры, удобные для ее. анализа и определения толщины каждого слоя покрытия 9. Измерение электродного потенциала при определении толщины многослойных электропроводных слоев возможно при перемещении электрода как от поверхности покрытия к основному металлу, так и от основного металла к поверхности покрытия.

1. СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩНЫ МНОГОСЛОЙНЫХ ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫХ ПОКРЫТИЙ, заключающийся в том, что помещают исследуемый образец в гальваническую ячейку и с помощью электрода и измерительного устройства, подключенного в электрическую цепь между электродом и исследуемым образцом, измеряют величину электродного потенциала и фиксируют момент скачка электродного потенциала, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и упрощения измерения толщины многослойных электропроводных покрытий, выполняют на исследуемом образце, поперечный микрошлиф, перемещают вдоль него электрод и по величине перемещения электрода от поверхности покрытия до мо§ мента скачка электродного потенциал ла определяют толщину каждого слоя (Л покрытия. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что измерение величины электродного потенциала проводят в электролите, депассивирующем поверхность покрытия и основного металла .