Способ смазки механизмов вакуумного технологического оборудования Советский патент 1986 года по МПК F16N17/06 

Изобретение относится к электрон- нбму машиностроению и приборострое- ниш и может быть использовано в особо чистых вакуумных системах технологического оборудования.

Цель изобретения - улучшение технологических свойств вакуумной среды путем ограничения вьщеления твердых: продуктов износа в вакуумный объем.

На чертеже изображена схема уст- ройства для реализации предлагаемого способа,:

Устройство состоит из неподвижной гайки 1 с нагревателем 2 к подвижного винта 3 с нанесенной на его тру- щутося поверхность металлической пленкой 4 на основе легкоплавкой эвтектики индай-олово.

Способ смазки осуществляют (зледу- клцим образом.

Нанесенную на трущуюся поверхность винта металлическую пленку 4 нагревают до температзфы плавления в зоне контакта трущихся поверхносте винта 3 и гайки 1 нагревателем 2, винту сообщается вращательное движение, при этом расплавленная пленка металла служит эффективной смазкой rpyapixcH поверхностей. По мере выхода из зоны контакта трущихся поверх ностей пленка охлаждается за счет теплоотвода через тело винта до затвердевания, замуровывая продукты износа и предотвращая тем самым рассеивание их в вакуумной камере,

Пример. Проводилось смазывание трущихся поверхностей пары трения винт-гайка скольжения в вакууме 10 Па. Металлическая пленка на трущихся поверхностях была образова- на на основе легкоплавкой эвтектики „ - 8„(8 - 48,7) с температурой плавления ПТ С.

Редактор Н.Горват Заказ 2278/39

Составитель Г.Шуренко Техред М.МоргенталКорректор

Тир;1ж 652Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д,4/5

..Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,4

Перед началом испытаний неподвижная гайка 1 нагревалась спиральным резистивным нагревателем 2 до расплавления тонкой металлической гшенки 4. Температура зоны контакта контролировалась- с помощью термопарного датчика, установленного в непосредственной близости от резьбы в теле гайки. Винту 3 сообщалось вращательное движение с частотой 5 об/мин посредством герметичного сильфонного ввода, с ва- . лом которого винт связан телескопическим шлицевым соединением. По мере вы- хода из зоны контакта металлическая пленка 4 остывала и затвердевала, замуровывая продукты износа. Снижение температуры пленки происходило за счет теплоотвода через тело винта, соединенного с перемещаемым объектом. С целью повьшения эффективности тепло- отвода возможно охлаждение винта посредством полупроводникового холодильника .

При работе устройства в течение 500 ч продуктов износа в вакуумной камере не обнаружено.

При работе устройства без нагрева с твердой металлической смазкой на основе индия при тех ке режимах вес продуктов износа составил 210 мг,

При производстве ряда приборов попадание твердых продуктов износа в вакуумный технологический объем приводит к увеличению брака, снижению фактической производительности. Например,, при производстве интегральных микросхем, где размеры элементов составляют единицы микрометров, попадание продуктов износа на полупроводниковую подложку приводит к неиспра-- вимому браку.

Корректор А,0бручар