Изобретение относится к методам контроля трибологических характеристик твердых материалов и может быть использовано для оценки качес1 ва адгезии покрытия к подложке при изготовлении микросхем.
Цель изобретения - повышение производительности контроля адгезии покрытия к подложке.
Эта цель достигается тем, что рабочую нагрузку на индентор выбирают равной величине нагрузки, при которой индентор на эталонном покрытии не оставляет разрушающего следа.
Предлагаемый способ осуществляют следующим образом.
Из партии образцов, представляющих собой покрытия на твердых подложках, выбирают эталонное покрытие. Затем к эталонному покрытию прижимают индентор, сообщают ему поступательное перемещение и измеряют силу трения между индентором и подложкой. Нагрузку на индентор постепенно увеличивают, а рабочую нагрузку выбирают равной величине нагрузки, при ко горой индентор на эталонном покрытии не оставляет разрушающего следа.
Определение величины адгезии исследуемых покрытий на других образцах партии осуществляют при нагрузке, равной рабочей в той же последовательности как и эталонное покрытие.
Если на покрытии образуется разрушенный след, то такое покрытие бракуется и считается непригодным к эксплуатации. Отсутствие разрущенного следа свидетельствует об удовлетворительном качестве адгезии к подложке.
Формула изобретения
Способ контроля адгезии покрытия к подложке, заключающийся в том, что индентор прижимают рабочей нагрузкой к покрытию на подложке, сообщают индентору поступательное перемещение, измеряют силу трения между индентором и покрытием, по величине которого судят об адгезии покрытия к подложке, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, рабочую нагрузку выбирают ранной величине нагрузки, при которой индентор на эталонном покрытии не оставляет разрушающего следа.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Способ контроля качества адгезии покрытия к подложке | 1989 |
|
SU1675745A1 |
| Способ получения адаптивного износостойкого покрытия Ti-Al-Mo-N для защиты от изнашивания в меняющихся условиях трения | 2016 |
|
RU2644094C1 |
| Способ определения адгезионной и когезионной стойкости металлических покрытий | 2019 |
|
RU2717260C1 |
| Устройство для измерения параметров рельефа поверхности и механических свойств материалов | 2019 |
|
RU2731039C1 |
| Способ оценки износостойкости материала | 2019 |
|
RU2716496C1 |
| СПОСОБ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ ТВЕРДОСПЛАВНЫХ РЕЖУЩИХ ИНСТРУМЕНТОВ | 2014 |
|
RU2569920C1 |
| СПОСОБ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ ТВЕРДОСПЛАВНЫХ РЕЖУЩИХ ИНСТРУМЕНТОВ | 2007 |
|
RU2358838C1 |
| Способ получения ионно-плазменного вакуумно-дугового керамикометаллического покрытия TiN-Ni для твердосплавного режущего инструмента расширенной области применения | 2015 |
|
RU2613837C1 |
| СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ АНТИФРИКЦИОННОГО ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ НА ИЗДЕЛИЕ ИЗ МЕТАЛЛА ИЛИ СПЛАВА | 2008 |
|
RU2392351C2 |
| СПОСОБ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ ТВЕРДОСПЛАВНЫХ РЕЖУЩИХ ИНСТРУМЕНТОВ | 2007 |
|
RU2356699C1 |
Изобретение относится к методам контроля трибологических характеристик твердых материалов, в частности адгезии покрытия к подложке при изготовлении микросхем. Цель изобретения - повышение производительности контроля, которая достигается тем, что из партии исследуемых образцов выбирают эталонное покрытие и определяют его адгезию к подложке путем воздействия индентора на покрытие при максимальной нагрузке и перемещении индентора при условии, что на покрытии не образуется разрушающий след, а остальные образцы партии испытывают при выбранной по эталону рабочей нагрузке. Если на покрытии при этом образуется разрушающий след, то такое покрытие бракуется, а пригодными к эксплуатации считаются покрытия, которые не разрушаются при рабочей нагрузке. ) 4 сл ;с ел 4
| Авторское свидетельство СССР № 679910, кл | |||
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
