Испаритель направленного действия для вакуумных установок Советский патент 1986 года по МПК C23C14/24 

1

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для напыления драгоценных металлов, Известен испаритель направленного действия для вакуумных установок содержащий тигель с выходным профилированным каналом. Тигель и выходной канал помещены в радиационный тепловой блок,

Недостатком этого испарителя является низкий коэффициент полезного использования испаряемого материала.

Наиболее близок к предлагаемому испаритель направленного действия для вакуумных установок, содержащий тигель с выходным каналом и тепловые экраны.

Однако он обладает тем же недостатком.

Цель изобретения - повышение коэффициента полезного использования испаряемого материала достигается благодаря тому, что в испарителе направленного действия для выкуумных ус тановок, содержащем тигель с выходным каналом и тепловые экраны, выходной канал выполнен в виде съемного симметричного паропровода, посредине длины которого выполнено кольцевое углубление, а тепловые вают тигель ниже уровня кольцевого углубления.

На фиг.1 изображена конструкция испарителя с цил:ундрическим выход- 1ЫМ каналом; на фиг.2 - то же, с коническим выходным каналом.

Прямоканальньй графитовый тиг.ель 1, снабженный молибденовь да токопро- водами 2 в виде хомутов, стягивав- мых болтами 3, окружен тепловыми экранами 4,5. Выходной канал 6-с кольцевым углублением 7 по его середине свободно расположен в тигле, в который загружен испаряемый мате- риал 8.

Испаритель работает следующим образом.

132

Загрузив в тигель 1 испаряемый материал, устанавливают сверху выходной канал 6 с тепловыми экранами 4,5. Подводя к тиглю через токоподводы 2 ток, нагревают его до рабочей температуры. При этом благодаря ниличию кольцевого углубления 7, уменьшающего тепловой поток вдоль выходного канала, и экранам 4, устраняющим радиационный нагрев верхней части выходного канала, температуру наверху ниже, чем внизу. При достижении рабочей температуры материал начинает испаряться и выходить через канал 6, направленный в сторону напыляемой подложки. При этом после кольцевого углубления периферийные слои потока испаренньгх молекул осаждаются на холодных стенках верхней части канала, а центральные области потока-выходят из него в направлении напыляемой подложки .

После испарения всего находившегося в тигле материала, часть которого бьша напылена на подложку, а часть осела на внутреннюю поверхность верхней части канала, из тигля вынимают выходной канал и загружают цовую порцию материала, после чего канал переворачивают и снова вставляют в тигель. При этом часть канала, на которой осел испаряемый материал, оказы-. вается внизу, и после достижения рабочей температуры тигля этот материал испаряется вместе с материалом, находящимся в тигле. При этом на ; ; верхней части канала также осаждается часть испаряемого канала. После испарения всего материала тигель опять загружают и снова переворачивают выходной канал. Таким образом, осаждающийся на верхней части канала материал участвует в следующем напылении.

Конструкция испарителя обеспечивает повышение коэффициента полезного использования в 2,1 раза.

ш.

Редактор Н.Швыдкая

Составитель В,Казанков

Техред И.Попович Корректор Г,Решетник

Заказ 4883/21 Тираж 878Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4