Изобретение относится к обработке светочувствительных материалов и,может быть испо;1ьзоваио в технике фотолитографии ири производстве фотогиаблонов интегральных схем, печатных плат и других изделий.
Целью-изобретения является повышение качества обработки.
р-1а фиг. i изображено предлагае.мое устройство, разрез; на фиг. 2 - вид А на фиг. I (со снятой крьинкой); на фиг. 3 - установка диазонленок для обработки.
Устройство содержит кориус 1, крьиику 2, уилотиеиие 3, установленное между корпусом и крьпнкой, вьнюлненное, например, из си.чиконовой pe3Htibi. В камере устройства, образованной корпусом 1 и крышкой, размеидены пагреватели 4, связанные с системой терморегулирования (ие показана), распылитель 5 и два полых стержня-держателя 6. Стержни 6 установлены параллельно один другому на направляющей рейке 7 с возможностью изменения расстояния между ними. В стержпях 6 на обрапгенных одиа к другой сторонах выполнены отверстия 8. Распылитель 5 и стержни 6 гибкими труб- ка.ми 9 соединены с системой подачи паров аммиака (пе показана).
Устройство работает с;1едую1цим образом.
Два листа диазопленки 10, обращенные один к другому эмульсионной стороной и
0
5
0
5
соединенные по двум противолежащи.м краям, например, ультразвуковой сваркой, после экспонирования устанавливают на стержни-держате;1и 6 таким образом, что стержни 6 размещаются между листа.ми ди- азопленок. После установки листов диазопленки 10- на стержни 6 камеру закрывают и через раснылитель о и стержни 6 подают аммиак с одновременным нагревом рабочего объема до необходимой те.мпературы.
Подача паров аммиака в рабочий объем камеры через распылитель 5 позволяет исключить возду1нные пузыри в отдельных зонах, а через отверстия 8 в стержнях 6 - обеспечить хорощую циркуляцию реагента между диазопленками 10, тем самым повысит качество обработки.
Формула изобретения
Устройство для обработки листовых ди- азопленок, содержащее гер.метичную камеру с крын1кой, нагреватель, раепыл итель, евя- занный с системой подачи реагента, и держатель диазонленок, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки, держатель выполнен в виде двух параллельно расположенных полых стержней, на обращенных друг к другу сторонах которых выполнены отверстия, при этом стержни связаны с системой подачи реагента.
7Г
JO
Ю
Ре.тактор .Л. Маковская Заказ 5273;46
Составите,||ь Б. Денисов
Те.чред И. ВересКорре.ктир И. Эрдени
Тираж 421Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по дела.ч изобретений и открытий
1 13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-гголиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проекть ая, 4
(риг.2.
Л
6
фие.З
Изобретение м. б. использовано в технике фото 1итографи11 при производстве фотошаблонов интегральных схем, иечатиых плат и др. изделий. Цель изобретения - иовышение качества обработки листовых диазопленок. В устр-ве держатель диазоиле- нок вынолнен в виде двух иараллельно расположенных на направляющей рейке 7 стержней 6, соединенных с системой нодачи реагента. В распылитель 5 и стержни 6 подают пары аммиака по гибким трубкам 9. Отверстия 8 на обрапленных друг к другу сторонах стержней 6 обеспечивают хорошую циркуляцию реагента между диазопленками. 3 ил. & (Л ufMf uaffOL аммиа/ а фиг.
| Патент Австрии jYo 349301, кл | |||
| Переносная печь для варки пищи и отопления в окопах, походных помещениях и т.п. | 1921 |
|
SU3A1 |
| Осадительная центрифуга | 1977 |
|
SU627863A1 |
| Переносная печь для варки пищи и отопления в окопах, походных помещениях и т.п. | 1921 |
|
SU3A1 |
