Устройство для перемещения полупроводниковых пластин Советский патент 1987 года по МПК H05K13/02 

1

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для бездефектной перекладки полупроводни ковых пластин с помощью манипулятора

Цель изобретения - расширение экс плуатационных возможностей и упрощение конструкции.

На фиг. 1 показано устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - сечение А-А на фиг. 1.

Устройство содержит корпус 1 с на правляющими прямоугольными отверстия ми, в которых размещены подвижные Г-образные губки 2, 3,имеющие на рабочей части, выполненной из фторопласта, V-образные канавки А. Губки 2 и 3 снабжены рейками 5 и 6, рас положенными на направляющей части гу бок, и связаны между собой зубчатым колесом 7, установленным на оси 8. Губка поджата пружиной 9, усилие которой через зубчатую пару воспринимает эластичный упор 10 на крьшке 11 корпуса 1. Губка 3 связана с мембраной 12, образующей с крышкой 11 корпуса 1 полость для цодачи сжатого воздуха через штуцер 13. Пластина 14 опирается на V-образные канавки 4, выполненные в нижней части поддержи- .вающего элемента 15, закрепленного на корпусе 1.

Устройство работает следующим образом.

Устройство должно быть установлено на манипулятор. В устройство подается сжать1й воздух через штуцер 13, подвижные губки 2 и 3 раздвигаются, преодолевая усилие пружины 9. Устройство опускается, поддерживающий элемент 15 вводится в кассету та КИМ образом, чтобы пластина 14 оказа лась над V-образной канавкой поддерживающего элемента 15, Устройство поднимается, пластина 14, опирающаяся на дно канавки 4 губки 15, выводится из кассеты до уровня, когда

526752

нижний край губок 2 и 3 оказется над поверхностью кассеты.

Сжатый воздух удаляется из устройства через штуцер 13, губки 2 и 3 сближаются, охватьшая пластину V-об- разными канавками 4. Между пластиной 14 и губками 2 и 3 остается гарантированный зазор, так как ход губок 2 Q и 3 под воздействием пружины 9 ограничивается эластичным упором 10, Устройство поднимается, пластина 14 перемещается в лодочку и укладьгоается в гнезда в порядке, обратном описан- 15 ному.

Формула изобретения

1. Устройство для перемещения по- 2Q лупроводниковых пластин, содержащее - корпус, подвижно установленные в нем губки для захвата пластин, причем губки выполнены с зубчатыми рейками на направляющих частях и кинематичес- 25 ки связаны между собой зубчать1м колесом, и приводной механизм, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационньк возможностей, оно снабжено поддерживающим 3Q элементом, размещенным между губками и неподвижно закрепленным на корпусе, причем губки.выполнены Г-образ- ньгми, а на рабочих поверхностях губок и поддерживающего элемента выполнены V-образные ориентирующие канавки.

35

40

45

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, приводной механизм выполнен пневматическим, с мембраной, возвратной пружиной и эластичным упором, причем возвратная пружина соединена с одной из.губок, эластичный упор установлен с возможностью взаимодействия с другой губкой, а мембрана размещена в корпусе между эластичным упором и второй губкой,

фие.2 А-А

V

Ч

Изобретение относится к области радиотехники. Устройство для перемещения полупроводниковых пластин (ПИП) содержит корпус 1 с направлянлцими прямоугольными отверстиями, в которых расположены Г-образные губки 2, 3, именщие на рабочей части У-образные ориентирующие канавки для размещения в них ППП 14. Г-образная губка 2 поджата пружиной 9, усилие которой через зубчатую пару воспринимает зластич- -ньш упор 10 на крышке 11 корпуса 1. Г-образная губка 3 связана с мембраной 12, образуклдей с крышкой 11 полость для подачи сжатого воздуха через штуцер 13. Устройство имеет простую конструкцию и расширенные эксплуатационные возможности. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. /4 (Л фие.1

Составитель М. Чубуров Редактор Н. Горват Техред Л.Сердюкова Корректор А. Тяско

Заказ 5579/58 Тираж 799Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

фие