Способ изготовления металлостеклянных изделий Советский патент 1988 года по МПК C03C29/00 

Изобретение относится к формированию проходных изоляторов и их соединений с металлической арматурой в корпусах микросхем.

Целью изобретения является повышение качества проходных изоляторов.

Изготовление проходных изоляторов осуществляют следующим образом.

Выводы и основания собирают в специальную пресс-форму со строго заданным и отвечакицим требуемой конструкции корпуса объемом, затем методом литья под давлением (3-4 атм) места соединения металлических деталей заполняют шликером при. 65-70°С, т.е. формируют внешний вид проходного изолятора. При этом шликер подается в требуемые места под давлением, в результате уменьшается вероятность образования незаполненных объемов, вследствие чего повьш1ается надежност корпуса.

Шликер может быть приготовлен из 87 мае.% .стеклянного порошка, размолотого в шаровой мельнице в течение 16 ч, 12,5 мас.% парафина и 0,5 мае.% олеиновой кислоты.

После охлаждения сформированного узла последний подвергают термообработке для удаления технологической связки.

При последующей термообработке проводят формирование спая, а также геометрических размеров проходного изолятора. Удаление связки производят на воздухе при постепенном подъёме температуры от комнатной до температуры спекания черепка, которую выбирают на 20-30 С выше температуры начала размягчения применяемого стекла Спаивание стекла с металлом ведут при 970-990 С, при этом геометрические размеры проходного изолятора сов даются без строго заданного объема, что позволяет отказаться от применения графитовых кассет.

0

5

0

5

Пример 1. Выводы и основание из ковара подвергают обезжириванию и травлению. Производят сборку их в специальную разъемную форму, затем методом литья под давлением 4 атм заполняют основание шликером на основе стекла С 52-1 при 65-70 С, Затем изоляторы извлекают из формы, помещают в адсорбент (А1,0) и на воздухе в интервале температур 20-600 С подвергают термообработке. Скорость подъема температуры 30 /ч. Спаивание изоляторов осуществляют в конвейерной печи СК-11 в среде азота при 990 С с вьщержкой в зоне максимальной температуры 15 мин. Спаивание проводят в металлических кассетах для фиксации выводов.

Пример2. Подготовительные операции те же, что и в примере 1. Спаивание осуществляют при 970 С с вьщержкой в зоне максимальной температуры 20 мин.

Изготовленные согласно предлагае - мому способу проходные изоляторы не

0

5

0

5

имеют трещин.

отлипаний и натекания

-1-3 -

гелия. Узлы герметичны м Па-с имеют высокую механическую прочность и вьщерживают испытание на термоцик- лирование 10 циклов.

Формула изобретения

Способ изготовления металлостек- лянных изделий путем формирования стеклянной детали, изготовления ме- таллостеклянной сборки и последуинцей термообработки, отличающий- с я тем, что, с целью повышения качества проходных изоляторов, изготовление металлостекляннбй сборки ведут одновременно с изготовлением стеклянной детали, размещая в замкнутом объёме металлические детали и запивая затем в него под давлением шликер из стеклопорошка, а затем производят термообработку без замкнутого объема.