СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВАКУУМПЛОТНЫХ Советский патент 1969 года по МПК C03C29/00 

Известные сиособы изготовления вакуумплотных ненапряженных металлостеклянных конструкций трудоемки, требуют специального технологического оборудования, усложняющего автоматизацию процесса и организацию серийного производства герметичных корпусов для интегральных схем.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что в форму устанавливают и фиксируют металлические детали корпуса в виде рамки и спекание заготовки осуществляют в воздушной среде при температурах, обеспечивающих максимальную, порядка lO лз, вязкость стекла, а также обрезают по меньшей мере два угла окаймляющей выводной рамки.

Способ основан на использовании горячего щликерного литья под давлением в форму, удаления связки, спекания сырой заготовки в засыпке и спаивания ее с металлической арматурой. Однако в отличие от известных способов перед литьем шликера в форму в последней устанавливают и фиксируют металлические детали корпуса, выполненные в виде рамки. В результате после операции заливки шликера и его охлаждения из формы извлекают сырую заготовку, представляющую собой единую металлостеклянную конструкцию.

обеспечивающих максимальную, порядка 10 пз, вязкость стекла, что позволяет избежать исиользования специальных кассет, которые, однако, требуют постоянной замены изза изменения конфигурации, происходящей за счет выгорания основного вещества, например графита.

Завершающим этаиом в описываемом способе служит снятие остаточных напряжений,

возникающих в изделиях при спекании их за счет жестких связей выводов, и заключающееся в том, что ио меиьшей мере два угла окаймляющей выводной рамки обрезают.

Предмет изобретения

1. Способ изготовления вакуумплотных ненапряженных металлостеклянных конструкций плоского корпуса для интегральных схем

из игликера, например, на основе стекла, путем .горячего литья его под давлением в форму, удаления связки, спекания сырой заготовки и засыпке и спаивания с металлической арматурой, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности токосъема от интегральной схемы, номещенной внутри корпуса, и его герметизации перед операцией заливки шликера в форму, в последней устанавливают и фиксируют металлические детали корпуса в 3 2. Способ .по п. 1, отличающийся тем, что, с целью сохранения конфигурации изделий без .применения специальных кассет, спекание заготовки осуществляют в воздушной среде нри температурах, обеспечивающих максималь-5 ную, порядка 10 пз, вязкость Стекла. 4 3. Способ по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что, с целью снятия остаточных напряжений, возникающих -при спекании изделий за счет жестких связей выводов, по меньшей мере два угла окаймляющей выводной рамки обоезают.