Установка для литья керамической пленки Советский патент 1988 года по МПК B28B1/26 

(21)4148300/29-33

(22)18.11.86

(46)30.12.88. Бкш. № 48

(72)М.Ф. Тузов, О.А. Мельников,

В.И.Венедиктов и А.Н. Жуковский

(53)666,3.022.88(088.8)

(56)Авторское свидетельство СССР К 1144885, кл. В 28 В 1/26, 1982.

(54)УСТАНОВКА ДЛЯ ЛИТЬЯ KEPA ШЧEC- КОЙ ШШНКИ

(5) Изобретение откосится к оборудованию для изготовления керамичес- ких пленок для многослойных металло- керамических корпусов интегральных схем способом литья шликеров на технологическую подложку. Целью изобретения является повьпиение производительности за счет интенсификации процесса сушки. Установка содержит механизмы размотки рулона I с технологической подложкой, столы формирования 2 с литьевыми .фильерами 3, двухка- нальную сушильную камеру 4 с единой системой раздачи теплоносителя, каждый канал камеры 4 снабжен кареткой 17 с захватами конца технологической подложки. Каретка 17 перемещается на роликах по направляющим при помощи бесконечного троса 16, натянутого на барабаны 15. Для повьииения качества пленки за счет обеспечения равномерности движения подложки и удобства обслуживания верхняя ветвь технологической подложки поднята над нияс- ней фильерой 3 на вращающихся роликах 22. Перемещаясь в каналах сушильной камеры 4, отлитая керамическая пленка высыхает и наматывается на рулон механизма намотки II, а технологическая подложка - на свой рулон. 5 ил.

§

С

%ВЕ19

/ Г

Изобретение относится к оборудованию для иэготовления керамических пленок способом литья шликеров на технологическую подложку и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности при изготовлении мно- гослойньгх металлокерамичёских корпусов интегральных схем.

Цель изобретения - повьппение производительности установки путем интенсификации процесса сушки.

Иа фиг. 1 схематически изображена предлагаемая установка, обпщй вид; на фиг. 2 - система раздачи теплоносителя по каналам с регулируемыми заслонками и приборами; на фиг. 3 - система отсоса увлаж еи1юго воздуха с приборами в конце сушильной т- тередвигаемые каретки на напр«;зля- юш гж; иа фиг. 4 - систем,- отсоса теплоносителя в начале сушильной камеры; па фиг. 5 - система подачи теплоносителя с регулируемыми заслонками в начале сушильной камеры.

Установка содержит механизмы I ра змотки рулона с подлозской, столы 2 формпрОЕйния с лк гьевьа.ш фильерами 3, двухканальную сушильную-камеру 4 с системой трубопрсврдов 5 с регулируеь ыми заслонками 6, приборани 7 li 8 измерения давления и тем- пйратур л подаваемого теплоносителя соотватственггоJ систему 9 вентиляции для отсоса увлажненного воздуха, механизмы 10 протяжки подложки, механизмы 1 Г камотки в рулон отлитой пленки Ti механизмь 12 намотки в рулон технологической подложки. Уста- ;швка содержит также вентиляторы 13 и нагреватели 1 4 для подачи т-епла.но- сители. Каждый канал имеет на коьгцах барабаны 15 с натянутыми-на них тросами 16J к концам которых прикреплены каретки 17, Барабаны 15 приводятся во вращение рукоятками 18. Каретка 1 7 с захватами 19 при помощи ро- Л2жон 20 передвигаются по направля- 21. Верхняя ветзь технологической подлошси поднята под нижней фильерой 3 иа вращающихся роликах 22 и имеет горизонтальный участок.

Установка работает следующим образом.

: Рулоны с технологической подложкой уетанавливают в шпиндели меха- низмо размотки рулона и пропускают HKJKHR;. подложку ПО столу 2 под фильеру 3, а верхнюю подложку - че0

5

0

5

5

0

5

0

5

рез систему вращающихся роликов 22 по верхнему столу 2 под фильеру 3. Затем концы подложек закрепляют на каретках 17 при помощи захватов 19 и путем вращения барабанов 15 рукоятками протаскивают концы подложки по длине сушильной камеры 4. На выходе из сушильной камеры 4 концы подложек освобождают из захватов, пропускают их через валики механизма 10 протяжки и наматывают на механизмы 12 намотки подложки. После этого фильеры 3 заполняют литьевым шликером. Включают нагреватели 14 и вентиляторы 13 для подачи теплоносителя. При помощи заслонок и приборов достигается необходимая температура в каналак сушильной камеры 4.

При включении приводов механизмов I подложки разматываются с рулонов и с постоянной скоростью протягиваются по столам 2 под фильерами 3. Механизмы 12 намотки подложки, преодолевая торможение механизмов 1 размотки, протаскивают подложки по столам и к шалам сушильной камеры 4. В это же время из фильер 3 подается шликер, который вытекая из фильеры, попадает на движущуюся подложку слоем , толщина которого ограничена зазором между нижней поверхностью фильеры и поверхностью поддюжки.

Перемещаясь в каналах сушильной камеры 4, отлитая керамическая пленка аысыхает к наматывается на рулок механизма 11 намотки, а технологическая подложка - на свой рулон. Формула изобретения

Установка для литья керамической пленки, содержащая мехаь измы размотки рулона с технологической подложкой, столы формирования и литьевые фильеры, механизмы намотки в рулон отлитой пленки и технологической подложки, отличающаяся тем, что, с целью повьш1ения производительности за счет интенсификации процесса сушки, сушильная камера выполнена двухканальной с единой системой раздачи теплопосителя, а каждый канал снабжен кареткой с захватами конца технологической подложки, причем каретка при помощи . роликов установлена на направляющих и снабжена приводом в виде бесконечного троса, натянутого на барабаны, установленные на входе и выходе канала .

Фбк. 2

3S

9

SE

US.V

Редактор А, Огар

Составитель С, Акиньшин

Техред И.Верес Корректор Э.Лончаковг

Заказ 6794/19

Тираж 528

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Фиг.5

Фиг.5

Подписное