Линия литья керамической пленки Советский патент 1992 года по МПК B28B1/26 

Изобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленок способом литья шликеров на технологическую подложку и предназначенных для изготовления многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем.

Известна линия литья керамический пленки, содержащая стол формирования и сушки пленки, отсек сушки, механизмы размотки бобины с подложкой и ее намотки в рулон вместе с отлитой на нее пленкой, и литьевую фильеру.

Наиболее близкой к предлагаемой является линия литья керамической пленки, со.держащая литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную

камеру с воздуховодами, нагреватели, механизм размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки.

Недостатком известной линии является отсутствие системы сушки горячим воздухом и интенсивного отсоса паров растворителя керамического шликера. Криволинейная поверхность стола сушки ведет к растяжению пленки и появлению внутренних напряжений в ней, а отсутствие в линии холодильника не позволяет вести отделение керамической пленки от технологической подложки, так как недостаточно охлажденная пленка плохо отсоединяется от подложки.

Указанные выше недлостатки не позволяют получить качественную пленку толщиной 0,5 - 1,5 мм и повысить интенсивность данного процеса.

Цель изобретения - повышение качест: ва пленки и интенсификации процесса сушки.

Указанная цель достигается тем, что в линии литья керамической пленки, включаXI

&

VJ ю -ч ел

Изобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленок способом литья шликеров на технологическую подложку и предназначенных для изготовлениямногослойныхметаллокерамических корпусов интегральных схем.

Известна линия литья керамической пленки, содержащая стол формирования и сушки пленки, отсек сушки, механизмы размотки бобины с подложкой и ее намотки в рулон вместе с отлитой на нее пленкой, и литьевую фильеру.

Наиболее близкой к предлагаемой является линия литья керамической пленки, содержащая литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизм размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки.

Недостатком известной линии является отсутствие системы сушки горячим воздухом и интенсивного отсоса паров растворителя керамического шликера. Криволинейная поверхность стола сушки ведет к растяжению пленки и появлению внутренних напряжений в ней, а отсутствие в линии холодильника не позволяет вести . отделение керамической пленки от технологической подложки, так как недостаточно охлажденная пленка плохо отсоединяется от подложки.

Указанные выше недлостатки не позволяют получить качественную пленку толщиной 0,5 - 1,5 мм и повысить интенсивность данного процеса.

Цель изобретения - повышение качества пленки и интенсификации процесса сушки.

Указанная цель достигается тем, что в линии литья керамической пленки, включающей литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизмы размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки, она снабжена осевыми вентиляторами, холодильником воздуха с фильтром и охватывающим стол формирования и сушки пленки теплоизолирующим кожухом, разделенным перегородкой на две секции, в одной из которых размещены осевые .вентиляторы и холодильник воздуха с фильтром, а в другой секции установлена сушильная камера, на верхней части которой установлены нагреватели и воздуховоды, при этом камера снабжена перфорированной перегородкой с рассекателями горячего воздуха, а в нижней части кожуха установлены соединенные со столом формирования и сушки пленки регулируемые опоры и вы тяжные воздуховоды.

Линия снабжена напорным бачком шли кера с механизмом его вертикального перемещения, снабженным гильзой для нижней подачи шликера.

На фиг.1 схематично изображена предлагаемая линия; на фиг.2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг.З - напорный бачок шликера с механизмом вертикального перемещения.

Линия содержит механизм размотки бо-:

бины 1 с технологической подложкой 2, стол

3 формирвания пленки, литьевую фильеру 4,

теплоизолирующий кожух 5, разделенный

на две секции: сушильную камеру 6 и камеру

7охлаждения. В верхней части сушильной камеры б установлены нагреватели 8 и воз духоводы 9, в которые воздух подается вентилятором 10. В камере 6 установлена перфорированная перегородка 11 с соплами 12 для подачи воздуха и рассекателями 13 горячего воздуха. В нижней части камеры

6на регулируемых опорах 14 установлен стол 15 сушки пленки и вытяжные воздуховоды 16. В камере 7 охлаждения размещены осевые вентиляторы 17, холодильник 18 с фильтром 19. Кожух 5 в верхней части имеет разъем 20, позволяющий снять верхнюю

часть кожуха для обслуживания нагревателей 8. Для регулировки напора подаваемого и отсасываемого воздуха воздуховоды 9 оснащены регулирующими заслонками 21. Линия снабжена механизмом намотки пленки

на бобину 22 и механизмом протяжки технологической подложки на бобину 23 посредством роликов 24. Линия имеет напорный бачок шликера 25 с механизмом 26 его вертикального перемещения. По оси бачка 24

установлена гильза 27 для подачи шликера.

8нижней части бачка 25 закреплена трубка

28подачи шликера в бачок и гибкая трубка

29подачи шликера в фильеру 4. В верхней части бачка 25 установлен датчик 30 уровня.

Линия имеет также бак шликера 31.

Линия работает следующим образом.

Бобину 1 с технологической подложкой 2 устанавливают на шпиндель механизма размотки, пропускают подложку через систему роликов и по столу 3 формирования пленки подают под фильеру 4. Далее по столу 15 через сушильную камеру 6 и камеру

7охлаждения через ролики 24 протяжки-, а затем с помощью механизма протяжки и

намотки подложку 2 сматывают в рулон на бобину 23. Затем включают вентилятор 10, нагреватели 8 и выводят сушильную камеру 6 на температурный режим, согласно технологической кривой сушки для данной керамической пленки при включенной вытяжной вентиляции.

Регулировку воздушных потоков ведут заслонками 21 в соплах 12 нагнетания горя- чего.воздуха и вытяжных воздуховодах 16. а также регулировкой зазора между столом 15 и камерой 6 посредством регулируемых опор 14. Одновременно включают осевые вентиляторы 17 камеры 7 охлаждения. Подают воду в радиатор холодильника 18 и настраивают температурный .режим камеры охлаждения регулировкой потока холодной воды дросселем на сливе.

В фильеру 4 подают шликер, поступающий из бака 31 под давлением сжатого воздуха в напорный бачок 25. Уровень шликера в напорном бачке 25 контролируется датчиком 30 уровня. В зависимости от толщины в герметичной фильере 4, устанавливая высоту Н напорного бачка 25 над фильерой механизмом 26 вертикального перемещения. Шликер, вытекая из фильеры 4, попадает на движущуюся подложку 2 слоем, толщина ко- торого .ограничена зазором между верхней и нижней губками фильеры. Керамическая пленка после сушки в камере 6 и охлаждения в камере 7 получает необходимые меха- нические и физические свойства и отделяется от технологической подложки, сматывается в рулон на бобину 22 намотки пленки.

Предлагаемая линия предназначена для получения керамических пленок различ- ной толщины и состава шликера и позволяет повысить их качество при интенсивном процессе сушки.

Это достигается за счет того, что воздуховоды 9 и нагреватели 8, установленные на камере 6, производят быстрый вывод сушильной камеры на необходимый температурный режим и заключенные в общем теплоизолирующем кожухе 5 выдерживают стабильный температурный режим сушки пленки. Перфорированная перегородка 11, установленная на верхней части камеры 6, с рассекателями 13 горячего воздуха позволяют обеспечить равномерный поток воздуха перпендикулярно направленного к площади отливаемой пленки, причем горячий воздух, обтекая стол 15 сушки в зазоры между стенками камеры равномерно прогревают его, что создает необходимую температуру сушки пленки по толщине с двух сторон. Регулировочные опоры 14, на которых установлен стол 15 сушки, позволяют изменять зазор между нижней стенкой камеры 6 и столом сушки при подборе оптимального режима сушки. Горячий воздух, насыщенный парами растворителя шликера, отсасывается вытяжными воздуховодами 16, установленными под столом 15 сушки по оси камеры 6 и не вызывает концентрацию воздушного потока в зоне пленки и поводки (коробления) ее, что наблюдается при боковой вытяжке воздуха.

Такая система позволяет создать равномерный температурный градиент сушки пленки.

Высушенная керамическая пленка, перемещаясь на подложке 2, проходит камеру 7 охлаждения, приобретает оптимальную температуру для отделения от технологической подложки 2 и легко наматывается в рулой на бобину 22 намотки. Камера 7 охлаждения с заданным температурным режимом позволяет сократить длину линии литья и обеспечить качественное отделение сухой керамической пленки от. подложки, избежать растяжения пленки и релаксации напряжения в ней.

Для качественного и интенсивного процесса читья пленки необходим постоянный статический напор шликера в фильере, что обеспечивается подачей шликера через гильзу 27 в напорный бачок 25 по сигналу датчика 30 уровня.

Для литья пленки разной толщины, например 0,5 - 1,5 мм, разного состава и вязкости шликера, необходим соответственно различный статический напор, что обеспечивает данная конструкция напорного бачка.

Таким образом, использование предлагаемой линии обеспечивает повышение качества керамической пленки, а также интенсифицирует процесс сушки, позволяет увеличить производительность, повысить выход годной продукции на 15% при достаточно широком диапазоне отливаемых керамических пленок, как по толщине, так и по составу.

Формула изобретения

1. Линия литья керамической пленки, включающая литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизмы размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества пленки и интенсификации процесса сушки, линия снабжена осевыми вентиляторами, холодильником воздуха с фильтром и охва- тыва ющим стол формирования и сушки пленки теплоизолирующим кожухом, разделенным перегородкой секции, в одной из которых размещены рсевые вентиляторы и холодильник воздуха,с фильтром, а в другой секции установлена сушильная камера, на верхней части которой установлены нагреватели и воздуховоды, при этом камера снабжена перфорированной перегородкой с рассекателями горячего воздуха, а в нижней части кожуха установлены соединенные со столом формирования и сушки пленки регулируемые опоры и вытяжные воздуховоды.

2. Линия по п.1, отличающаяся тем, что она снабжена напорным бачком шликера с механизмом его вертикального перемещения, снабженным гильзой для нижне.й подачи шликера.

Использование: при изготовлении многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем. Сущность изобретения: линия содержит литьевую фильеру, стол формирования и сушки пленки, сушильную камеру с воздуховодами, нагреватели, механизмы размотки рулона технологической подложки, ее протяжки и намотки в рулон отлитой пленки,,осевые вентиляторы, холодильник воздуха с фильтром, напорный бачок с механизмом его.вертикального перемещения. Заключение сушильной камеры, воздуховодов и нагревателей в единый теплоизоляционный кожух позволяет выдерживать стабильный температурный режим сушки пленки. Перфорированная перегородка, установленная в верхней части камеры с рассекателями горячего воздуха, обеспечивает равномерный поток воздуха, направленного перпендикулярно к площади отливаемой пленки. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. И с

А- А

13

Фиг, Z

19 18

26

30