Способ изготовления матричных емкостных датчиков давления Советский патент 1993 года по МПК G01L9/12 

Формула изобретения

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЧНЫХ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ, при котором используют диэлектрические полиимидные пленки, на первую из которых наносят сплошной металлизированный экран, вторую пленку перфорируют, на третью и четвертую пленки наносят соответствующей конфигурации металлизированные электроды с выводами и экраны, затем скрепляют пленки пакетом, при этом вторую пленку размещают между металлизированными сторонами третьей и четвертой пленок, причем свободную сторону третьей пленки размещают на сплошном металлизированном экране, отличающийся тем, что, с целью

повышения чувствительности и надежно- 20 сти датчика, все пленки до металлизации и перфорирования подвергают термической обработке в течение 0,5 - 1 мин при 350 - 390 С, а затем на обе поверхности второй пленки наносят связующий слой в виде 5 раствора кислотного лака на основе диан- гидрида дифенилоксида тетракарбоновой кислоты и диаминодифенилового резорцина, подвергают ее термической обработке , при 70 - аО С в течение 1 - 3 мин, а скрепляют пленки между собой путем выдерживания пакета под давлением 0,20 - 0,30 кг/см продолжительностью 5 - 20 мин при 80- 100 С, 5- 10 мин при 120- 140 С 5-10 35 мин при 160 - 200-С, 5 - 15 мин при 220 - 260 С, 5 - 15 мин при 280 - 320 С.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления при аэродинамических испытаниях. Целью изобретения является повышение чувствительности и надежности матричных датчиков давления. При изготовлении датчика используют диэлектрические полиимидные пленки, первая 1 из которых имеет металлизированный экран 2, вторая пленка 8 выполняется с перфорацией, а третья 3 и четвертая 13 выполнены с металлизированными экранами 4 и электродами 11 с выводами. До металлизации и перфорирования все пленки подвергают термообработке, затем на пленку 8 наносят с двух сторон связующий слой 9 и подвергают ее термической обработке, а скрепление пленок в пакет осуществляют под давлением при определенном температурном режиме нагрева. 5 ил.

9м.З

Фu.f,

Ю

1)