Способ изготовления селеновых выпрямительных элементов с крутой вольтамперной характеристикой Советский патент 1962 года по МПК H01L21/10 

Известны способы изготовления селеновых выпрямительных элементов с крутой вольтамперной характеристикой, по которым селен наносится несколькими слоями.

В предлагаемом способе, с целью уменьшения сопротивления слоя селена ,и повышения плотности тока, в проводяш.ем направлении на подложку износят первый слой селена толш,иной в 10-15 микрон, при температуре подложки 60-80°. Второй слой .селена - толщиной порядка 5 микрон с присадкой галлия при температуре подложки 100-120° и третий основной слой селена при температуре подложки 100-120°.

Способ, согласно изобретению, осушествляется по следующей технологии:

подготовка элементов, отбивка песком, висмутирование нижнего электрода:

нанесение первого слоя селена толщиной микрон при температуре подложки 60-80°;

нанесение слоя селена толщиной 5 .микрон с присадкой галлия при температуре подложки 100-120°;

нанесение основного слоя селена при температуре подложки 100- 120

нанесение катодного сплава, содержащего галлий.

Многослойные селеновые элементы со средним слоем селена, содержащим галлий, имеют малое сопротивление в пропускном направлении и большую крутизну вольтамперной характеристики.

Благодаря этому при утроенном значении плотности классификационного тока 75 MajCAi, величина прямого падения напряжения у новых элементов нЕЖе, че.м у элементов, используемых при двойной плотности тока 50 .но/сл.

h-: 14314 :

Предмет изобретения

Способ изготовления селеновых выпрямительных элементов с крутой вольтамперной характеристикой, по которому селен наносится несколькими слоями, отличающийся тем, что, с целью уменьшения сопротивления слоя селена и повышения плотности тока, в пр01водяш;ем направлении на подложку наносят первый слой селена толш,иной в 10- 15 микрон, при температуре подложки 60-80°, второй слой селена толщиной порядка 5 микрон с присадкой галлия при температуре подложки 100-120° и третий основной слой селена при температуре подложки 100-120°.