Травильный раствор Советский патент 1989 года по МПК C03C15/00 

Изобретение относится к технике травления стекла и может быть исполь- .зовано при вытравлении рисунка на подложках из стекла.

Цель изобретения - увеличение глубины травления и снижение неравномерности края рисунка.

Пример l.Ha подложках из натрий-кальциевого стекла ионно-плаз- менным методом напыляют пленку тантала толщиной 0,5 мкм. Методом фотолитографии формируют рисунок, через который стекло травят в течение 3 мин в растворе, содержащем, мас.%: HF (45%-ный..

раствор)10,5

N11 F

18,0

ШГО5 (65%-ный раствор)10,5 61,0 Глубина вытравленной структурысоставила 12 мкм, т.е.скорость травпе- ония равна 4 мкм/мин.Неровность края 0,5 мкм.

Пример 2вВ травильном растворе, -содержащем в своем составе, мас,%:

HF

NbUF ШО

10,0 17,5 10,0 62,5

скорость травления стекла составляет 3,5 мкм/муш, шероховатость равна 0,3 мкм, неравномерность края рисунка не превышает 1 мкм, используемьш в качестве маски фоторезист начинает отслаиваться через 120 с. С учетом приведенных данных максимальная глубина вытравленного рисунка без искажений составляет 7 мкм,

Пример 3, В травильном растворе, содержащем в своем составе, мас.%:

НЕ10,5

18,0 14,0

HNOj

57,5

скорость травления стекла составляет

315

4 мкм/мнн, шероховатость равна 0,1 мкм неравномерность края рисунка не превышает 1,6 мкм. Используемый в качестве маски фоторезист начинает отела- иваться через 80 с, т,е, максимальная глубина вытравленного рисунка составляет 5 мкм.

Таким образом, введение в состав травильного раствора азотной кислоты способствует увеличению скорости травления до 3,5-4,0 мкм/мин, в первую очередь вследствие улучшения растворимости фторидов кальция и магния Использование в качестве маски пленок тантала или титана позволяет улучшить качество формируемого рисунка за счет уменьшения подтрава по краю рисунка и уменьшения количества

что обуслов-

дефектов типа прокол.

t

лено значительно более Н)1сокими адгезией мет аллических пленок к стеклу и устойчивостью пленок тантала и титана к используемому травильному раствору

Формула изобретени

Травипьньш раствор, включающий HF, HNOg, , отличающий с я тем, что,, с целью увеличения глубины травления и снижения неравнмерности края рисунка, он дополнительно содержит при следующем соотношении компонентов, масв%: HF- 10-10,5

ННОз10-14

NH4F17,6-18,0

Н ООстальное

Изобретение относится к технике травления стекла и может быть использовано при вытравлении рисунка на подложках из стекла. С целью увеличения глубины травления и снижения неравномерности края рисунка травильный раствор включает, мас.% : HF 10-10,5

HNO₃ 10-14

NH₄F 17,6-18

H₂O - остальное. После формирования покрытия из тантала или титана стекло травят в растворе. Глубина вытравленного рисунка составляет 7 мкм

неравномерность края 1-1,6 мкм

шероховатость 0,1-0,3 мкм.