Способ определения толщины покрытия Советский патент 1989 года по МПК G01B5/02 G01B121/02 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения толщины покрытия, наносимого на внутреннюю поверхность полой осесимметричпой детали с цилиндрического источника осаждения, установленного на ее оси, например в процессе вакуумного осаждения покрытия.

Целью изобретения является повышение точности при контроле толщины покрытия полой осесимметричной детали за счет учета реальных условий формирования покрытия.

На фиг.1 изображено устройство для получения покрьп-ий в вакууме; на фиг, 2 - схема формирования покрытия.

Устройство, реализующее способ, содержит полую осесимметричную деталь

1, источник 2 осаждения цилиндриче- . ской формы, установленньп на оси полой осесимметричной детали 1, узел 3 крепления ее и источника 2 осаждения, вакуумную камеру 4 и источник 5 тока.

Способ осуществляется в следующей последовательности.

При прохождении тока от источника 5 тока разогревают источник 2 осаладе- ння. В результате разогрева происходит испарение и перенос паров вещества рт источника 2 осаждения к внутренней поверхности полой осесимметричной детали 1 с последующей конденсацией паров и образование покрытия.

Перед началом испарения вещества определяют плотность j вещества источника 2 осаждения, плотность вещества покрытия полой осесш 1етричсл

С5

00

оо

ном детали 1 , начальньп диаметр d источника 2 осаждения на одном из его участков, расстояние от центра источника осаждения до покрываемой поверхности (диаметр D отверстия полой осесимметричной детали 1). После нанесения покрытия измеряют текущий диаметр d источника 2 осаждения и определяют толщину покрытия по соотношению

b К

где К

4U Тисп t покр

Способ позволяет контролировать толйХину покрытия на любых участках полой осесимметричной детали 1 независимо от равномерности расхода вещества с различных участков цилиндрического источника 2 осаждения.

Формула изобретения Способ определения толщины покрытия, заключающийся в том, что измеряют количество израсходованного на покрытие вещества, а также расстояние от центра источника осаждения до покрываемой поверхности и плотность вещества покрытия, и с учетом их определяют толщину покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения точности при контроле толщины покрытия полой осесимметричной детали, источник осаждения вьтолняют цилиндрической формы и устанавливают на оси контролируемой детали, предварительно определяют плотность вещества источника осаждения и его начальный диаметр, а количество израсходованного вещества определят с их учетом по изменению текущего диаметра источника осаждения.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения толщины покрытия, наносимого на внутреннюю поверхность полой осесимметричной детали с цилиндрического источника осаждения, установленного на оси. Целью изобретения является повышение точности при контроле толщины покрытия за счет учета реальных условий формирования покрытия. Перед началом испарения вещества определяют плотность вещества источника осаждения, плотность вещества покрытия, начальный диаметр цилиндрического источника осаждения и диаметр отверстия полой осесимметричной детали, на которую наносят покрытие. После нанесения покрытия измеряют текущий диаметр источника осаждения. С учетом указанных параметров определяют толщину покрытия. 2 ил.

Фиг.1

Фиг. г