| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Устройство для транспортирования изделий | 1978 |
|
SU771767A1 |
| Устройство для обработки деталей в жидкости | 1977 |
|
SU703149A1 |
| Устройство для измерения контактной разности потенциалов | 1987 |
|
SU1494732A1 |
| Кассета для плоских изделий | 1987 |
|
SU1613386A1 |
| Устройство для контроля плоскостности поверхности изделий,преимущественно полупроводниковых пластин | 1985 |
|
SU1260678A1 |
| Устройство для транспортирования деталей | 1980 |
|
SU966794A1 |
| Устройство для визуального контроля микроструктур на полупроводниковой пластине | 1975 |
|
SU924778A1 |
| Автомат сортировки и укладки кристаллов по группам | 1975 |
|
SU560653A1 |
| Устройство для подачи плоских деталей,преимушественно полупроводниковых пластин | 1979 |
|
SU855791A1 |
| Устройство для автоматической сортировки полупроводниковых приборов | 1977 |
|
SU983836A1 |
Изобретение относится к приборостроению и предназначено для использования в системах автоматического контроля полупроводниковых пластин в массовом производстве. Цель изобретения - повышение быстродействия и точности позиционирования пластины. Блок 14 управления включает приводы 12, 13, которые осуществляют перемещение пластины 11 по осям X, Y. Далее сигнал с блока 14 управления поступает на катушку 8 индуктивности, которая, взаимодействуя с магнитным полем постоянного магнита 7, перемещает шток 9 с держателем 10 полупроводниковой пластины 11 вдоль оси Z на позицию измерения. 1 ил.
| Проспект фирмы Leitz (ФРГ) | |||
| Autoraofic Film Thickness Measurement System for Thin, Transparent Sayers, 1985 | |||
| ( СКАНИРУЮЩИЙ ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИК ДЛЯ СИСТЕМ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН |
