Вакуумный манипулятор Советский патент 1990 года по МПК B25J21/00 

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для закрепления, перемещения, вращения и нагрева изделий в вакуумных камерах технологического оборудования. Целью изобретения является повышение надежности и расширение технологических возможностей за счет обеспечения нагрева изделий. На торце внутренней трубы 11, коаксиально расположенной относительно корпуса 8, закреплен нагреватель 4, а токоподвод размещен в полости этой трубы. Вращение захвата 3 осуществляется от привода 6 вращательного перемещения посредством магнитной муфты 18, сердечник 23 которой размещен на внешней трубе 10, а ротор - на наружной поверхности корпуса 8. При этом захват изделия осуществляется посредством зажимных элементов 32, приходящих в движение посредством привода 7 их перемещений и закрепленных на рычагах 26, шарнирно установленных на диске 25 и подпружиненных относительно его. 2 з.п. ф-лы. 2 ил.