Устройство для электрохимической обработки Советский патент 1990 года по МПК C25F7/00 C25D5/02 

Изобретение относится к оборудованию для электрохимической обработки деталей и может быть использовано в радиотехнической и радиоэлектронной промышленности при изготовлении трафаретов для формирования ферритовых полей и получения рисунка пленочных элементов при изготовлении толстопленочных плат микросборки.

Целью изобретения является повышение качества обработки путем обеспечения равномерности травления.

На фиг. 1 представлено устройство, общий вид в разрезе; на фиг. 2 - выполнение анода; на фиг. 3 - выполнение экрана в случае обработки изделий прямоугольной формы.

Устройство содержит ванну 1 с электролитом 2 и терморегулятором 3, ванну А тер- мостатирования с подогревателем 5 и теплоносителем 6, анодную штангу 7 с анодом 8, выполненным в виде диска, экраны 9, подвижный контакт 10, электродвигатель 11, установленный на кронштейне 12, соединительную муфту 13 с изоляционной прокладкой 14, катоды 15со штангой 16,источник 17 питания постоянного гока и трафареты 18.

Аноднзя штанга 7 с анодом 8 помещена з ванну 1. Трафареты 18, подлежащие травлению, размещены в отверстиях 19 дискового анода 8. По обеим сторонам анода 8 на одинаковом расстоянии неподвижно размещены экраны 9. .ПосредстЕЮм подвижного контакта 10 анодная штанга 7 подключена к положительному полюсу источника 17 питания. Электродвигатель 11 предназначен для вращения анодной штанги 7. Катоды 15 выполнены в виде кольцевых желобов с полуокружностями в сечении, расположенными выпуклой частью к аноду 8 на одинаковом

0

5

0

5

0

5

0

расстоянии от анода 8, при этом анод 8 выполнен с отверстиями 19 прямоугольной формы - по форме и размерам обрабатываемых трафаретов (не показаны), а экран 9 выполнен с отверстиями 20 эллипсной формы, обеспечивающей наибольшее снижение краевого эффекта, в случае обработки трафаретов прямоугольной формы.

После включения источника 17 питания и электродвигателя 11 устанавливают требуемый ток и проводят процесс травления. Анод 8 с закрепленными на нем изделиями 18, подлежащими травлению, и экраны 9 вращают в горизонтальной плоскости, при этом происходит равномерное перемешивание электролита 2, исключаются застойные зоны, что способствует получению отверстий требуемой формы с высокой точностью.

Конструктивные особенности устройства, в частности выполнение катодов 15 в виде кольцевых желобов с полуокружностями в сечении, расположенными выпуклой частью к аноду 8 на одинаковом расстоянии от вращающегося анода и экранов 9, позволяет обеспечить равномерное травление отверстий по всей площади изделий.

Формула изобретения

Устройство для электрохимической обработки, преимущественно для травления сквозных отверстий, содержащее источник питания постоянного тока, ванну для электролита, анод, катоды, расположенные симметрично аноду, экраны с отверстиями и привод вращения анода с экранами, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки путем обеспечения равномерности травления, катоды выполнены в виде кольцевых желобов с полуокружностями в сечении, расположенными выпуклой частью к аноду.

т

Изобретение относится к оборудованию для электрохимической обработки деталей и может быть использовано в радиотехнической и радиоэлектронной промышленности при изготовлении трафаретов для формирования ферритовых полей и для получения рисунка пленочных элементов при изготовлении толстопленочных плат микросборки. Целью изобретения является повышение качества обработки путем обеспечения равномерности и точности травления. Включают источник питания 17 и электродвигатель 11, устанавливают требуемый ток и проводят процесс травления. Анод 8 с закрепленными на нем изделиями 18, подлежащими травлению, и экраны 9 вращают в горизонтальной плоскости, при этом происходит равномерное перемешивание электролита 2, исключаются застойные зоны, что способствует получению отверстий требуемой формы с высокой точностью. Конструктивные особенности устройства, в частности выполнение катодов 15 в виде кольцевых желобов с полуокружностями в сечении, расположенными выпуклой частью к аноду 8 и на одинаковом расстоянии от вращающегося анода, и экранов 9, позволяет обеспечить равномерное травление отверстий по всей площади изделий. 3 ил.

ПО

Фиг. 2

Фие.З