Способ контроля толщины диэлектрической пленки на электропроводящей подложке Советский патент 1992 года по МПК G01B7/06 

) 30.07.92.Бюл. № 28

(21) 4278б13/28

(22)21.0.87

(72) Л.М.Туберовский (53) $31.717.1(088.8)

(56)Гершинский А.Е.., Черепов Е.И Применение электрохимических методов для обнаружения и измерения толщины индивидуальных слоев многослойных структур. Электронная промышленность. № 3. 1979, с. «5.

( СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НА ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕЙ ПОДЛОЖКЕ

(57)Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины диэлектрической пленки на электропроводной подложке. Цель изобретения - повышение точности измерения и обеспечение возможности контроля без разрушения пленки. Контролируемую пленку 1 смачивают электролитом, химически нейтральным к ней. Через пленку и электролит пропускают ток, который быстро разлагает электролит, и ток в цепи резко падает, что предотвращает разрушение пленки. По максимальному значению силы тока и тарировоч- ным зависимостям -определяют толщину пленки. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины диэлектрической, например окисной, пленки на электропроводящей подложке, например металлической поверхности.

Цель изобретения - повышение точности контроля и обеспечение возможности контроля без разрушения пленки.

На чертеже показана принципиальная схема измерения, поясняющая предлагаемы.; способ.

На контролируемый объект с диэлектрической пленкой 1 и электропровод 1 ной подложкой 2 устанавливают ячейку 3 с электродом 4 и в нее заливают электролит. 5, который смачивает пленку 1. В качестве электролита используют химически нейтральный к пленке электролит, увеличивающий свое электрическое сопротивление под действием электрического тока. От источника 6 постоянного тока подаются напряжения на подложку 2 и на электрод k, поэтому в процессе протекания тока через электролит сопротивление электролита увеличивается за счет его разложения, что регистрируют потенциометром 7. Максимальное значение зарегистрированной силы тока сравнивают с тарировочной зависимостью, которую получают при измерении предложенным способом известных толщин диэлектрических пленок, а также при отсутствии диэлектрической пленки на электропроводной подложке.

Например, для измерения суммарной толщины пленки МцО , на поверхности холодного катода из электропроводного сплава АМГ-6 пленку смачивают электролитом,- являющимся двухСл

ч1

ГС

процентным раствором MgCIjt в этило- вф-t спирте Указанный электролит увеличивает свое сопротивление в два а течение двух-трех секунд, не разрушая пленок толщиной в сотыз доли микрона, что позволяет измерять тошцнну тонких окисных пленок с . точностью до нескольких процетов..

.

Таким образом, определение.толщины диэлектрической пленки по максимально значению силы тока, протекающего в цепи где контакт с контро- лируемой пленкой обеспечивает химически нейтральный к ней электролит, резко увеличивающий свое сопротивление под действием тока, позволяет контролировать пленки без, их разру- шения с высокой точностью

Составитель И.Касоян Редактрр М.ВасильеваТехред М.ХоданнчКорректор 3, Лннчлкоял

Заказ 2828

Тираж Н6

ВНМИПИ Государственного комитета по изобретениям н открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„, д„ 4/5

Формула изобретения)

Способ контроля толщины диэлектрической пленки на электропроводящей подложке, заключающийся в смачивании пленки электролитом, пропускании через электролит й плёнку постоянного электрического тока, регистрации силы тока и определении толщины пленки по силе тока и тарировочной зависимости, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля и обеспечения возможности контроля без разрушения пленки, пленку смачивают химически нейтральным к ней электролитом, увеличивакнцим свое электрическое сопротивление под действием электрического тока, а с тарировочной зависимостью сравнивают максимальное значение зарегистри- i рованной силы тока.

Подписное