Способ получения ультрадисперного порошка А @ N Советский патент 1991 года по МПК C01B21/72 

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к получению порошков нитрида алюминия, имеющих широкое применение в радиотехнической и электронно й промышленности в качестве подложек для гибридных интегральных схем.

Целью изобретения является получение ультрадисперсного порошка нитрида алюминия высокой чистоты.

Пример. Смешивают углеродсодер- жащее вещество в виде водного раствора сахара с частицами у АЬ Оз размером 0,01 - 0,1 мкм и проведением процесса кар- ботермического восстановления - азотирования в атмосфере азота высокой чистоты при 1200 - 1400°С. Гранулы оксида алюминия готовят диспергированием водного раствора соли сернокислого алюминия в жидкий азот с размером капель 400 - 800 мкм с последующей сублимационной и вакуумной сушкой при 200 - 500°С при давлении 4 Па в течение 5 ч.

В таблице приведены сравнительные данные по дисперсности и чистоте получаемого продукта предлагаемым способом по сравнению с известным

Видно, что предложенное техническое решение обеспечивает получение ультрадисперсного порошка нитрида алюминия с размером частиц 0,01 - 0,1 мкм и содержанием связанного азота, близким к стехио- метрическому составу, в то время как по известному способу не достигается полное насыщение алюминия азотом и получаются более крупные (1-3 мкм) частицы конечного продукта.

Формула изобретения 1. Способ получения ультрадисперсного порошка AIN, включающий смешение частиц у - А)2 Оз с углеродсодержащим веществом, с последующим карботермическим восстановлением - азотированием при температурах 1200 - 1400°С в потоке азота высокой чистоты, отличающийся тем, что, с

(Л

С

О

ел

Јь

К СП 00

целью повышения дисперсности и чистоты получаемого продукта, смешение частиц у - Ala Оз с углеродсодержащим веществом ведут пропиткой пористых гранул из частиц у - А1гОз раствором углеродсодержащего органического вещества, используют частицы у - Ala Оз размером 0.01 - 0,1 мкм, полученные из раствора AlztSOiO, в процессе его

диспергирования в среде жидкого азота, сублимационной и вакуумной сушки при нагревании полученных криогранул размером 400 - 800 мкм и термообработки.

2. Способ по п.1,отличающийся тем, что процесс вакуумной сушки ведут при температуре 200 - 500°С и давлении 4 Па в течение 5 ч.

Изобретение относится к способу получения ультрадисперсного порошка нитрида алюминия, применяемому в радиотехнической и электронной промышленности в каче стве материала для подложек интегральных схем, и позволяет путем карботермическою восстановления азотирования при 1200 1400°С гранул у АЬ Оз с размером частиц 0,01 - 0,1 мкм, полученных криохимическим методом с последующей сублимационной и вакуумной сушкой при 200 500°С и давлении 4 Па в течение 5 ч и пропиткой их водным раствором сахара, получать ультрадисперсные частицы нитрида алюминия высокой чистоты, использование которых в технике позволяет снизить температуру спекания и повысить качество керамических подложек интегральных схем. 1 з.п.ф-лы, 1 табл.