СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ Советский патент 1996 года по МПК H03H3/02 

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при изготовлении кварцевых резонаторов и фильтров.

Целью изобретения является повышение выхода годных.

Способ изготовления кварцевых пьезоэлементов включает вырезание заготовок кварцевых пьезоэлементов, шлифовку кварцевых пьезоэлементов и химическое травление при температуре раствора 290-368 К и перемещении кварцевых пьезоэлементов в растворе. Перемещение кварцевых пьезоэлементов в растворе осуществляется круговым реверсивным движением с частотой 0,17-0,75 об/с и углом перемещения 180-270^o, а также возвратно-поступательным движением на расстояние, равное 0,8-1,4 Н, где Н размер кварцевого пьезоэлемента в направлении возвратно-поступательного движения, причем в течение всего процесса травления заданное значение температуры травления поддерживается с точностью ±0,5 К.

На чертеже изображено устройство для изготовления кварцевых пьезоэлементов.

Устройство для изготовления кварцевых пьезоэлементов содержит сосуд 1 с травильным раствором, термостат 2, подъемно-вращательный механизм 3, нагреватель 4 и блок 5 управления с узлом термостабилизации, причем термостат 2 выполнен в виде глицериновой ванны, а подъемно-вращательный механизм включает в себя соединенный через два микровыключателя 6 и 7 с блоком 5 управления асинхронный двигатель 8, на оси которого закреплены кулачки 9-11, один из которых 11 связан с подвижным роликом 12, соединенным с асинхронным двигателем.

Устройство для изготовления кварцевых элементов работает следующим образом.

На блок 5 управления подают питание, с помощью нагревателя 4 нагревают глицерин в термостате до заданной температуры, которая контролируется датчиком. Кассету с предварительно отшлифованными кварцевыми пьезоэлементами помещают в сосуд 1 с травящим раствором, закрепляя ее через шток на оси электродвигателя 8 с опорой на ролик 12. При включении электродвигателя 8 кассета с пьезоэлементами приводится в круговое и одновременно поступательное движение. Возвратно-поступательное движение задается кулачком 11, когда он при вращении проходит по ролику 12. Реверсивное круговое движение задают кулачками 9 и 10, которые служат для переключения микровыключателей 6 и 7. Таким образом осуществляют переключение электродвигателя 8, который периодически вращается то в одну, то в другую сторону. Амплитуду возвратно-поступательных движений кассеты с пьезоэлементами задают изменением высоты эксцентрического выступа на кулачке 11. Узел стабилизации температуры фиксирует заданное значение температуры с точностью ±0,5 K, путем включения и отключения нагревателя 4 по сигналу с термодатчика.

Использование глицериновой ванны-термостата дает возможность обеспечить стабилизацию температуры раствора с точностью ±0,5 K, в результате чего относительный разброс параметров кварцевых пьезоэлементов снижается на 30% что приводит к увеличению выхода годных.

Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является повышение выхода годных. На блок 5 управления подают питание и с помощью нагревателя 4 нагревают глицерин в термостате до заданной температуры. При включении электродвигателя 8 кассета с пьезоэлементами приводится в круговое и одновременно поступательное движение. Возвратно-поступательное движение задается кулачком 11, когда он при вращении проходит по ролику 12. Реверсивное круговое движение задают кулачками 9 и 10, которые служат для переключения микровыключателей 6 и 7. 2 с.п. ф-лы, 1 ил.

1. Способ изготовления кварцевых пьезоэлементов, включающий вырезание заготовок кварцевых пьезоэлементов, шлифовку кварцевых пьезоэлементов и химическое травление при температуре раствора 290 368 К и перемещении кварцевых пьезоэлементов в растворе, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных, перемещение пластин в растворе осуществляется круговым реверсивным движением с частотой 0,17 0,75 об/с и углом перемещения 180 - 270^o, а также возвратно-поступательным движением на расстояние, равное 0,8 1,4Н, где Н размер кварцевого пьезоэлемента в направлении возвратно-поступательного движения, причем в течение всего процесса травления заданное значение температуры травления поддерживается с точностью ±0,5К. 2. Устройство для изготовления кварцевых пьезоэлементов, содержащее сосуд с травильным раствором, термостат, подъемно-вращательный механизм, нагреватель и блок управления с узлом термостабилизации, отличающееся тем, что термостат выполнен в виде глицериновой ванны, а подъемно-вращательный механизм включает в себя соединенный через два микровыключателя с блоком управления асинхронный двигатель, на оси которого закреплены три кулачка, один из которых механически связан с подвижным роликом, соединенным с асинхронным двигателем.