Способ очистки оптической поверхности изделий Советский патент 1991 года по МПК C23F11/00 

Изобретение относится к химической обработке, в частности к очистке оптической поверхности медных элементов, и может быть использовано в точной механике и радиоэлектронике.

Цель изобретения - предотвращение снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки и антикоррозионной защиты.

Оптический элемент устанарливают под углом 70 - 80° и обрабатывают изотропной смесью фреон-114В2 - ацетон в соотношении 97,6.2,4 (мас.%) методом аэрозольного распыления до полного покрытия оптической поверхности. Затем поверхность обрабатывают раствором N-метилмэлеимида в этаноле методом аэрозольного распнления

до полного покрытия оптической поверхности.

Расход состава составляет 4-5 мг/см поверхности.

В табл.1 приведены составы раствора N-метилмалеимида в этаноле.

После проведения процесса очистки рассчитывают коэффициент отражения на сдлине волны 0,63 мкм (Ro,63) из данных элеп- сометрических измерений. Затем проводят климатические испытания по ГОСТ 9.045-75 следующим образом.

Оптические элементы выдерживают на воздухе в течение 7 сут в отапливаемом помещении, затем последовательно проводят выдержку в камере влажности КТК-3000; выдержку в камере полевого тумана; выдержку в термокамере TPV-1000.

00

о

00

о

В табл.2 представлены режимы выдержки.

После проведения климатических испытаний измеряют коэффициент отражения (Ro,63).

В табл.3 приведены результаты испытаний изменения коэффициента отражения после обработки по предлагаемому способу и после проведения климатических испытаний, а также данные по чистоте оптической поверхности после очистки, определенные флуорометрическим методом.

Испытания порога плазмообразования оптических элементов и меди с защитными покрытиями проводят на стенде СТИС.

В табл.4 представлены результаты испытаний.

Технико-экономическим преимуществом предлагаемого способа является предотвращение снижения порога

плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки и.антикоррозионной защиты.

Формула изобретения

Способ очистки оптической поверхности изделий из меди и ее сплавов, включающий обработку азеотропной смесью растворителей фреон-114В2 - ацетон, о т- личающийся тем, что, с целью предотвращения снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышения качества очистки и антикоррозионной защиты, оптическую поверхность после обработки смесью растворителей дополнительно обрабатывают раствором N-метилмалеимида в этаноле при следующем соотношении компонентов, мас.%:

N-метилмалеимид 0,001 - 0,1

Этанол 99,9 - 99,999

Таблица1

Изобретение относится к химической обработке, в частности к способу очистки оптической поверхности элементов из меди и ее сплавов, и может быть использовано в точной механике и радиоэлектронике. Цель изобретения - предотвращение снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки и антикоррозионной защиты. Способ включает обработку оптической поверхности медных элементов азе- отропной смесью растворителей фреон-11482 - ацетон и обработку раствором N-метилмалеимида в этаноле при следующем соотношении компонентов, мас.%: N-метилмалеимид 0,001 - 0,1; этанол 99,9 - 99,999. Предотвращение снижения порога плазмообразования при сохранении оптической прозрачности, а также повышение качества очистки и антикоррозионной защиты достигается дополнительной обработкой раствором N-метилмалеимида в этаноле. 4 табл.

Т аб л и ц а 2

Таблица 3

МО 2-10 2-10

ff

.-5

-S

-5

5-10

1-10

100

10

11,000,98

21,001,00

31,001,00

41,000,10

51,000,16

61,001,00

Обработку производят предлагаемым способом, представляющим собой обработку азеотропной фреон-114В2-ацетоновой смесью с последующей обработкой М-метилмалеимидом (раствором) в этаноле с концентрациями 0,001; 0,05; 0,1 мас.%

Обработку производят продуктом реакции ангидрида малеиновой кислоты с линейным полиамидом с предварительной очисткой фреон-ацетоновой смесью

Обработку производят продуктом реакции ангидрида алкенилянтарной кислоты с мочевиной с предварительной очисткой фреон-ацетоновой

смесью

i

Контрольньй образец (очистка фреон-ацетоновой смесью)

Таблица 4