Установка для очистки изделий Советский патент 1991 года по МПК C23G3/00 

Фм.1

Изобретение относится к устройствам для жидкостной очистки и травления изделий и может использоваться в микроэлектронике и других областях, где необходимо осуществлять обработку изделий в автомати- зированных установках в агрессивных средах Цель изобретения - повышение производительности труда за счет исключения загрязне- ВидА н / я технологического раствора. В установке д/v очистки - 3AfviM /i, состоящей из камеры 1 с размещенными в ней технологическими ваннами 2, выстроенными в линию, систем отсоса и тонною позиционирования и автоопе- оатопа 5, продольная подача азтооператора осуцествпяется посредством выполненных из химически стойких материалов направляющих, на которых он установлен, и зубчатой составной рейки 10. с которой связана шестерня 8 тодольной подачи автооператора, приводимая в движение от привода, размещенного s автооператоре, а вертикальная по- дачз осуществляется посредством кругового вращения подающих рычагов относительно общего вала, причем фиксация вертикального перемещения осуществляется муфтой 18 с прижимной пластиной, которая соединена с приводным электромагнитом 4. 3 ил.

ч 6-Б

.,..-..--.,.-..-.--Г-гП

L

г

j

1

h