Устройство для резки пластин полупроводниковых материалов Советский патент 1992 года по МПК B28D7/00 

Изобретение относится к обработке резанием неметаллических материалов, а именно к резке полупроводниковых или керамических пластин. Цель изобретения - повышение тонности разрезания пластин. На фиг.1 показано устройство, общий вид; нафиг.2-видАнафмг.1; нафиг,3-узел I на фиг. 1; на фиг.4 - вид Б на фиг.З. Устройство состоит из корпуса 1, шпиндельной бабки 2,кареток продольной 3 и поперечной 4 подач, вакуумного стола 5, системы 6 ориентации. На валу шпинделя 7 закреплена оправка 8 с алмазным кругом. Шпиндель 7 крепится к каретке 4 поперечной подачи, приводимой в движение через ходовой винт шаговым двигателем 9. Каретки продольной 3 и поперечной 4 подач перемещаются по комбинированным призматическим 10 и 11 и плоским 12 и 13 направляющим. Корпусы кареток снабжены аэростатическими подпятниками 14-17. Воздух в зазоры между направляющими и подпятниками подается через отверстия малого диаметра. Аэростатические подпятНИКИ 14-17 имеют возможность регулировки с помощью винтов 18. Конструкция всех подпятников одинаковая. Устройство работает следующим обра зом. Перед началом работы на устройстве производится выставление параллельности плоскости вакуумного стола 5 относительно плоскости поперечных направляющих шпинделя 7, что осуществляется следующим образом. С помощью зинтов 1В. обеспечивается стопорение кареток продольной 3 и поперечной 4 подач на призматических направляющих 10 и 11, после чего, ослабляя давление подпятников 14 и 16. добиваются свободного скольжения кареток 3 и 4 при минимальных зазорах, обеспечивая при этом максимальную жесткость системы каретка - направляющая. Параллельность плоскости вакуумного стола 5 относительно плоскости поперечных направляющих шпинделя 7 обеспечивается за счет изменения положения подпятников 15, что достигается вращением винтов 18, которыми приподнимают или опускают правый край каретки 3, совершающей, в данный момент, вращения на цилиндрических цапфах 19 призматической направляющей. После данной регулировки положение аэростатических подпятников и призматической направляющей фиксируется. На отрегулированном вакуумном столе закрепляется рабочая пластина, с помощью системы. 6 ориентации ориентируется и после введения программу установки технологических параметров резки устройство самостоятельно производит разделение пластин на кристаллы в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Формула изобретения Устройство для резки пластин полупроводниковых материалов, включающее корпус с двумя парами аэростатических направляющих, на которых установлены каретки с шпинделем и вакуумным столом, и алмазный отрезной круг, отличающеес я тем, что, с целью повышения точности разрезания пластин, одна из каждой пары направляющих выполнена призматической формы и снабжена цапфами, которые смонтированы с возможностью поворота направляющей относительно своей продольной оси.

0us.3

Изобретение относится к обработке резанием неметаллических материалов, а именно к резке полупроводниковых или керамических пластин, и позволяет повысить точность разрезания пластин. Каретки продольной 3 и поперечной 4 подач перемещаются по комбинированным призматическим 10 и 11 и плоским 12 и 13 направляющим. Корпусы кареток снабжены аэростатическими подпятниками 14-17, которые имеют возможность регулировки с помощью винтов 18. 4 ил.слс^ юо^ со