СО
С
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ ОКСИДА ЖЕЛЕЗА И ХЛОРИСТОВОДОРОДНОЙ КИСЛОТЫ | 2009 |
|
RU2495827C2 |
| СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ СОЛЯНОЙ КИСЛОТЫ ИЗ ОТРАБОТАННЫХ ТРАВИЛЬНЫХ РАСТВОРОВ | 1994 |
|
RU2061102C1 |
| СОСТАВЫ ДЛЯ УДАЛЕНИЯ КИСЛОРОДА И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ В УПАКОВКЕ И ТАРЕ | 2004 |
|
RU2352182C2 |
| КАТАЛИЗАТОР И СПОСОБ ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ ОТ СЕРОВОДОРОДА В ЕГО ПРИСУТСТВИИ | 2008 |
|
RU2414298C2 |
| КАТАЛИЗАТОР ГИДРИРОВАНИЯ И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ | 1998 |
|
RU2205686C2 |
| СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ПЕНТАКАРБОНИЛА ЖЕЛЕЗА ИЗ ГАЗОВ, СОДЕРЖАЩИХ МОНОКСИД УГЛЕРОДА | 2010 |
|
RU2427611C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННОЙ МИШЕНИ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА МОЛИБДЕН-99 | 2017 |
|
RU2666552C1 |
| СПОСОБ РЕГЕНЕРАЦИИ ОТРАБОТАННОЙ СОЛЯНОЙ КИСЛОТЫ | 1985 |
|
SU1351176A1 |
| Способ приготовления поглотителя хлороводорода из газовых смесей | 2023 |
|
RU2807840C1 |
| Способ получения магнитного композиционного сорбента для очистки сточных вод от ионов тяжелых металлов и нефтепродуктов | 2016 |
|
RU2626363C1 |
Изобретение позволяет проводить очистку хлористого водорода одновременно от воды и кислорода при увеличении глубины очистки от кислорода и упростить процесс очистки. Для этого хлористый водород пропускают через слой хлорида железа (II), нанесенного на активированный уголь, с расходом не более 500 . Температура поглотителя при очистке может находиться в интервале -70..+ 200°С. Хлорид железа (II) наносят на активированный уголь путем пропитки угля водным раствором хлорида железа (II) с содержанием хлорида железа (II) 25-40,6 мае. %. Количество хлорида железа (II) составляет 22-35 мае.% от массы поглотителя, 1 табл.
Изобретение относится к технологии очистки газов и может быть использовано для финишной очистки хлористого водорода, применяемого в электронной промышленности для травления кремниевых подложек.
Цель изобретения - одновременная очистка от кислорода без снижения глубины очистки от паров воды.
Подготовка поглотителя.
230 г активированного угля марки СКТ зернением 2,0-2,7 мм помещают в колонку из нержавеющей стали емкостью 500 л и пропитывают водным раствором хлорида железа (II). После этого колонку с поглотителем высушивают в токе особо чистого азота при 300°С в течение 3 ч, вакуумируют до остаточного давления мм рт.ст., охлаждают до комнатной температуры и герметизируют.
Экспериментально установлено, что для получения поглотителя с содержанием FeCl2 22-35% концентрация FeCte в водном растворе, применяемом для пропитки, должна быть не ниже 25%. Верхний предел концентрации FeCl2 определяется концентрацией насыщенного раствора, равной 40,6%.
Пример 1. Колонку с подготовленным поглотителем подсоединяют к баллону с хлористым водородом и пропускают хлористый водород при комнатной температуре с расходом 300 (150 л/ч). После очистки хлористый водород подается в установку травления кремниевых пластин. Содержание воды в исходном хлористом водороде 1-10 об.%, кислорода об.%. СодерSs|
Ю О
со
ON 00
жание воды после очистки об.%, кислорода - об.%.
Содержание воды в хлористом водороде определяли методом точки росы, содержание кислорода - хроматографически.
Другие примеры реализации предлагаемого способа очистки хлористого водорода приведены в таблице.
Использование предлагаемого способа очистки хлористого водорода по сравнению с прототипом позволяет проводить одновременную очистку от кислорода и воды, а также избежать использования агрессивных и легко воспламеняющихся реагентов при подготовке поглотителя.
Формула и зо бретения Способ очистки хлористого водорода от паров воды, включающий пропускание его через слой поглотителя, представляющий собой хлорид металла, нанесенный на твердый носитель, отличающийся тем, что, с целью одновременной очистки от кислорода без снижения глубины очистки от паров воды, в качестве поглотителя используют хлорид железа (II), нанесенный на активированный уголь в количестве 22-35% от общей массы, и пропускание ведут с расходом не
более 500 ч
-1
| СПОСОБ ТРЕНИРОВКИ АДЕКВАТНОЙ РЕПРЕЗЕНТАЦИИ ОБРАЗОВ | 1999 |
|
RU2188043C2 |
| кл | |||
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
