Раствор химического никелирования Советский патент 1992 года по МПК C23C18/36 

СО

с

Изобретение относится к химическому никелированию и может быть использовано в микроэлектронике, в оптической и радиопромышленности. Цель изобретения - получение никелевого покрытия с равномерной оптической плотностью. Раствор химического никелирования содержит, г/л: сульфа- мат никеля 10-30, гипофосфит натрия 25-45, хлористый аммоний 10-65, уксуснокислый натрий 8-16, кальцинированная сода до рН 6,0-6,4. Использование кальцинированной соды в качестве щелочного агента для обеспечения рН 6,0-6,4 при указанном количественном соотношении всех компонентов обеспечивает получение покрытия с равномерной оптической плотностью.

Изобретение относится к химической металлургии, в частности к химическому никелированию и может быть использовано в микроэлектронике, оптической и радиопромышленности для изготовления шаблонов, линеек и других элементов оптического приборостроения.

Известны растворы для химического никелирования для получения плотных покрытий.

Известен раствор для химического никелирования, содержащий, г/л: никель сернокислый 16, гипофосфит натрия 11, лимонную кислоту 6, буру 2,5 1-аскорбино- вую кислоту, углекислый натрий до рН 8.

Раствор характеризуется недостаточной чувствительностью его к активированной.поверхности, что приводит к разбросу величины оптической плотности покрытия на различных участках поверхности.

Наиболее близким по технической сущности к предложенному раствору является известный раствор для химического никелирования, содержащий сульфамат никеля, гипофосфит натрия, хлористый аммоний, уксуснокислый натрий и щелочной агент для обеспечения заданного значения рН.

Цель изобретения - получение никелевого покрытия с равномерной оптической плотностью.

Поставленная цель достигается тем, что используют раствор, содержащий г/л: сульфамат натрия 10-30, гипофосфит натрия 25-46, хлористый аммоний 10-65. уксуснокислый натрий 8-16, а в качестве щелочного агента для обеспечения1 рН 6,0- 6,4 кальцинированную соду.

Предложенный раствор апробирован следующим образом.

Стеклянные пластины подготавливали к химическому никелированию традициейVIсо VI о

00

ным способом: обезжиривание, сенсибилизацию в растворе, содержащем ионы олова (II), активацию в растворе, содержащем ионы палладия, после чего помещали в раствор химического никелирования.

Оптическую плотность покрытия определяли на приборе ДП-1 в разных местах пластины в 10 точках.

Чувствительность раствора по отношению к активированной поверхности оценивали величиной р (Vob2/D) 100%, где

оь 2 среднеквадратичное отклонение значения оптической плотности от ее средней величины D. Оптически однородной считали поверхности с величиной 5 10%.

Использование предлагаемого раствора позволяет получать прецизионные слои с оптической плотностью большей 0,1 и минимальным разбросом значений D около среднего.

Формула изобретения Раствор химического никелирования, содержащий сульфамат никеля, гипофосфит натрия, хлористый аммоний, уксуснокислый натрий и щелочной агент для обеспечения заданного значения рН, отличающий- с я тем, что, с целью получения никелевого покрытия с равномерной оптической плотностью, раствор в качестве щелочного агента содержит кальцинированную соду при следующем соотношении компонентов, г/л:

Сульфамат никеля10 30

Гипофосфит натрия25-45

Хлористый аммоний10-65

Уксуснокислый натрия8-16

Кальцинированная сода до рН 6,0-6,4