ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА Советский патент 1965 года по МПК C23C14/54 

В известных вакуумных установках для многослойных покрытий с несколькими объемами разделение объемов осуществляют с помощью шлюзовых затворов сложной конструкции.

Предлагается установка для многослойных покрытий, осуществляемых при совмещении движущихся объемов с изделиями с неподвижными контейнерами, содержащими наносимые материалы.

Установка состоит, как и известные, из двух золотниковых дисков: подвижного, на котором смонтированы объемы с изделиями, и неподвижного, имеющего с подвижным диском совмещающиеся отверстия. Отличие установки заключается в том, что к ниж-ней части неподвижного диска укреплены емкости со съемными контейнерами, содержащими наносимые материалы. При совмещении отверстий изделия сообщаются с наносимыми материалами.

Откачиваемые или газонаполненные объемы / (см. чертеж) с изделиями укреплены на подвижном диске 2, притертом к неподвижному диску 3. К нижней части неподвижного диска крепятся емкости со съемными контейнерами 4, содержащими наносимый материал. Подвижный и неподвижный диски имеют совмещающиеся отверстия 5.

риалом сообщаются с объемами, в которых помещают изделия.

Возможность последовательно перемещать изделия над емкостями с испаряемыми материалами позволяет наносить многослойные металлические и диэлектрические покрытия путем распыления наносимого материала в вакууме и из паровой фазы за один цикл. На установке можно получить пленочные, например, микромодульные и криогенные приборы и схемы.

На установке также можно осуществлять комбинированные способы нанесения покрытий как в вакууме, так и в атмосфере различных газов.

Предмет изобретения

Вакуумная установка, состоящая из двух золотниковых дисков: подвижного, на котором смонтированы объемы с изделиями, и неподвижного, имеющего с подвижным диском совмещающиеся отверстня, отличающаяся тем, что, с целью нснользовання ее для нанесения металлических и диэлектрических покрытий, она снабжена емкостями со съемными контейнерами, содержащими наносимые материалы, прикрепленными к нижней части неподвижного золотникового диска, которые прн совмещении отверстий сообщаются с изделиями в объеме, укрепленном на подвижном диске.

X A-J f : .-

-pX-J JL,i:-J „,.

7ГЦё 1 1