Способ получения матированных рисунков на поверхности стекла Советский патент 1993 года по МПК C03C15/00 

Изобретение относится к способам обработки изделий из неорганических стекол и может быть использовано в стекольной, оптической промышленностях, приборостроении, микроэлектронике.

Целью изобретения является снижение трудоемкости процесса.

Поставленная цель достигается тем, что поверхность стекла маскируют любым, применяемым в вакуумной технологии температуростойким и электропроводным материалом, например, Ni, Mo. Поверхность нагревают в вакууме мм рт.ст. до температуры 400-520°С, обрабатывают электронным лучом с Руд 0,5 -102-103 Вт/см2 травят в рас; творе, содержащем плавиковую кислоту, в течение 1,5-15 мин. Скорость обработки электронным лучом составляет 0,1-5 см/сек

Материал маски выбирается таким образом, чтобы обеспечить дополнительный

отбор отрицательного заряда с поверхности стекла при допустимой степени адгезионной загрязненности стекла процессом электронно-лучевой обработки (ЭЛО).

Пример. Берут стекло фотопластины, протирают его ватным тампоном, смоченным в этиловом спирте с поляритом КРОКУС и оставляют до высыхания. Высохший образец вытирают сухим ватным тампоном до полного удаления частиц полярита с поверхности стекла.

Качество поверхности стекла после очистки проверяют согласно ГОСТ 11141-90 наблюдением в косоотраженных лучах поверхности стекла на черном фоне под микроскопом МБС-9. После этого на поверхность стекла накладывают съемную никелевую маску с рисунком. Образец помещают в вакууме. с остаточным давлением Р 10 мм рт.ст., нагревают до темпераСО

с

с ю

XI CJ

о

Х|

туры Т 520°С и обрабатывают электронным лучом ленточной формы с Руд 10 Вт/см и скоростью .

Получают следующйй-реэультат.

Обработанная 9ЛСХ поверхность (незащищенная маской) оплавляется с проявлением прозрачного рисунка, ограниченного краям маски. После этого образец опускают в раствор, содержащий 40% HF, 40% глицерина, остальное вода. Выдерживают в течение 5 мин. Образец вынимают, промывают в проточной воде с содой.

В результате на поверхности стекла наблюдают матированный рисунок, края которого повторяют рисунок маски. Матированной является поверхность, обработанная электронным лучом. Наблюдением поверхности под микроскопами МБС-9 и МИИ-4 установлено, что матированный рисунок имеет мелкозернистую поверхность, границы рисунка повторяют границы маски. Области поверхности стекла, обработанные электронным лучом подвергаются более интенсивному растворению.

Другие примеры конкретного выполнения сведены в таблицу.

Аналогичные результаты получаем при

обработке других марок стекол, например

К-8, К-208, К-108. Травят их после ЗЛО в

растворах, содержащих плавиковую кислоту и глицерин.

Из сопоставительного анализа технических показателей предлагаемого решения и прототипа следует, что при этом уменьшаются трудозатраты как минимум в два раза, т.е. имеет место достижение цели изобретения. Следовательно, предлагаемое техническое решение при использовании обеспечит получение положительного эффекта.

Формула изобретения

Способ получения матированных рисунков на поверхности стекла путем маскирования и травления плавиковой кислотой,

отличающийся тем, что. с целью снижения трудоемкости процесса, после маскирования стекло нагревают в вакууме до температуры 400-520°С, обрабатывают электронным лучом с удельной мощностью

5 102 103 Вт/см2 и скоростью 0,1-5 см/с и травят в течение 1,5-15 мин.

Изобретение относится к способам обработки изделий из неорганических стекол и может быть использовано в стекольной, оптической промышяенностях, приборостроении, микроэлектронике. Сущность изобретения состоит в том. что поверхность стекла маскируют любым, применяемым в вакуумной технологии температуростойким и электропроводным материалом, например, Ni, Mo. После этого поверхность стекла нагревают в вакууме до температуры 400- 520°С, обрабатывают электронным лучом с Руд. 5-102-103 Вт/см2 и скоростью 0,1-5 см/с, травят в растворе, содержащем плавиковую кислоту, в течение 1,5-15 мин. 1 табл.