УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 1995 года по МПК C23C14/50 C23C14/54 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в установках для изготовления селеновых приборов, основанное на несении тонких пленок методом термического испарения или ионного распыления.

Целью изобретения является упрощение конструкции, эксплуатации, повышение производительности.

Указанные недостатки известной установки, содержащей подвижную камеру, установленную в стойке карусель с зубчатой передачей венец-шестерня и приводом ее вращения в виде двух, установленных на телах качения соосных дисков, которые сопряжены между собой пальцем, и пазов, узел настройки приборов, устраняются тем, что ведомый диск закреплен в камере, на центральном штыре, с возможностью сопряжения равнорасположенными по кругу отверстиями с равнорасположенными на ведущем диске пальцами, на ведущем диске закреплен ловитель с заходной частью, в стойке установлены подвижные тяги, одна из которых с возможностью сопряжения с шестерней, другая с возможностью сопряжения с венцом.

Известная и предлагаемая установка включают подвижную камеру, привод, установленную в стойке карусель в виде двух соосных дисков, сопряженных пальцем и пазом, узел настройки приборов. Вращение в обеих установках осуществляется с помощью тел качения передачей венец-шестерня, центрирование осуществляется с помощью паза и пальца.

Герметизация осуществляется прижатием камеры к неподвижным стойкам.

В известной установке карусель вращается относительно направляющих, с помощью ряда специальных тел качения, размещена внутри неподвижных, имеющих фланец, стоек, которые герметизируются с помощью траверсы. Камера, перемещаясь, прижимается к фланцу стоек и, тем самым, герметизирует остальные узлы.

В предлагаемой установке карусель вращается относительно центральных цапфы и штыря, с помощью подшипников качения. Ведущий и ведомый диски имеют равнорасположенные отверстия, в которых вращаются приборы, установленные в них с помощью ряда пальцев. Центральный штырь сопряжен с ловителем, закрепленным на ведущем диске. Карусель герметизируется прижатием камеры к стойке одноступенчатым способом.

В известной установке диски между собой сопряжены пальцем и пазом. Применение ряда пальцев эффекта не дадут.

Такое центрирование позволяет за один цикл настройки установки изготовить только один прибор. Чтобы изготовить следующий прибор, нужно вынуть предыдущий прибор и все операции повторить.

В предлагаемой установке диски через приборы сопряжены рядом пальцев. Причем, приборы могут вращаться относительно своей оси и (в переносном движении) относительно центральных цапфы и штыря.

Вращая относительно своей оси какой-либо прибор, можно изготовить один прибор. Вращая всю карусель относительно центральных цапфы и штыря с одновременным вращением всех приборов относительно своей оси, можно наносить селен на весь ряд приборов (цилиндрических подложек).

В известной установке одна позиция загрузки, травления и герметизации.

В предлагаемой установке загружается сразу несколько приборов, или какой-либо один прибор, нанесение селена одновременно на все цилиндрические подложки (приборы) или на одну подложку любую, что улучшает эксплуатационные характеристики установки.

На фиг. 1 дана предлагаемая установка, общий вид; на фиг.2 прибор, продольный разрез.

В установку для изготовления селеновых приборов в вакууме входят следующие узлы и детали.

Привод 1, испарители 2, подвижная камера 3, неподвижная стойка 4, в которой на цапфе "а" установлены ведущий диск 5 с равнорасположенными по кругу шпинделями 6 с расположенными на них приборами 7, сообщающийся радиальными канавками "б" с радиальными "в" и продольными канавками г, д, е цапфы, каждого шпинделя 6 и прибора 7, тяги 8, 9, одна из которых с возможностью сопряжения со шлицами "ж" шпинделя 6 и зубчатым колесом 10 привода 1, другая вилкой 11 с установленными подвижно на стойке 4 зубчатым венцом 12, сопряженным с закрепленной на каждом шпинделе 6 шестерней 13. На внутренней стенке подвижной камеры 3 закреплен центральный штырь 14 с возможностью сопряжения с закрепленным на ведущем диске 5 ловителем 15, на котором установлен с помощью подшипников 16, ведомый диск 17 с равнорасположенными по кругу отверстиями "з" и подшипниками 18 в них, сопрягающихся с закрепленными на приборах 7 пальцами 19.

Прибор 7 (фиг.2), установленный на шпинделе 6 с помощью подшипников 20, состоит из установленных на трубопроводе 21 с отверстиями "и" подвижного и неподвижного фланцев 22, 23, уплотняющих с помощью уплотнений 24, 25 подложку 26 и зажимающихся через втулку 27 и шайбу 28 пальцем 19.

Прибор 7 установлен на шпинделе 6 через радиальное уплотнение 29, фиксируется с помощью защелок 30 и каналами "е" сообщается с каналами "д" шпинделя 7.

Для обеспечения плавной циркуляции теплоносителя в подложке установлен отражатель 31. Зубчатое колесо 10 привода 1 постоянно зацеплено с зубчатым колесом 32.

Установка для изготовления селеновых приборов в вакууме работает следующим образом.

При карусельном режиме работы подвижную камеру 3 (фиг.1,2), отводят от неподвижной стойки 4. Пальцы 19 выходят из ведомого диска 17, центральный штырь 14 выходит из ловителя 15. Собирают каждый прибор 7. Для чего монтируют цилиндрическую подложку 26 на трубопроводе 21, на котором уже закреплен неподвижный фланец 23.

С помощью пальца 19 через шайбу 28, втулку 27 поджимают подвижным фланцем 24, подложку 26 к неподвижному фланцу 23 для герметизации подложки 26. На шпиндель монтируют каждый прибор 7, который фиксируется автоматически защелками 30. Канавки "е" сообщаются с канавками "д" шпинделя 6.

Тяга 8 освобождена от шлицев "ж" шпинделя 6. Тяга 9 удерживает зубчатый венец 12 в зацеплении с шестернями 13 шпинделя 6.

При подводе подвижной камеры 3 пальцы 19 заходят в ведомый диск 17, центральный штырь 14 входит в ловитель 15.

Поджимают для герметизации подвижную камеру 3 к неподвижной стойке 4. Затем создают разрежение 1˙10^-4 5 ˙10^-5 мм рт.ст.

С помощью системы подвода (отвода) через каналы "в", "б", "д" и "е" и равнорасположенные отверстия "и" трубопровода 21 подается теплоноситель к внутренней поверхности подложки 26. Избыток теплоносителя отводится, минуя отражатель 31 через каналы "е" и "д". Температуру подложки 26 при этом изменяют по заданной программе.

При достижении технологической температуры включается вращение подложек 26 с помощью зубчатой планетарной передачи через зубчатый венец 12 и шестерни 13 шпинделей 6 и защелок 30. Испаряемый материал нагревается в испарителе 2 до заданной температуры и, таким образом, происходит нанесение покрытия подложки 26. При истечении опытного времени нанесения покрытия, снимают давление, отводят подвижную камеру 3. Пальцы 19 выходят из ведомого диска 17. Нажимают на защелки 30, снимают приборы 7 и подложки 26.

При режиме работы одного прибора 7 тягой 9 с помощью вилки 11 отводят зубчатый венец 12 из зацепления от шестерен 13, а тягу 8 зубчатым колесом 32, находящуюся в постоянном зацеплении с зубчатым колесом 10 привода 1, вводят в зацепление шлицами "ж" с одним из шпинделей 6 какого-либо прибора 7. Поворачивают ведущий диск 5 с приборами 7 зацепленной подложкой 26, ориентируя напротив испарителей 2.

Далее все операции подвода и герметизации камеры повторяют как указано выше.

Включают привод 1 и вращают одну из подложек 26, расположенную напротив испарителей 2.

Наличие отводимой опоры в виде закрепленного в подвижной камере центрального штыря, установленного на нем с возможностью вращения ведомого диска с равнорасположенными по кругу отверстиями и стыкуемых с ними соответственно ловителем, закрепленным на ведущем диске, и пальцами, закрепленными на приборах, двух тяг, расположенных подвижно в стойке, связанных кинематически с шестерней и венцом, позволило упростить конструкцию за счет снижения металлоемкости и габаритов, повысить производительность труда за счет возможности нанесения селена одновременно на несколько приборов (подложек), сразу, улучшить эксплуатационные характеристики установки за счет расширения диапазона ее возможностей. Можно изготовить только один любой прибор, либо несколько сразу одновременно.

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в установках для изготовления приборов с селеновым покрытием, наносимым методом термического испарения или ионного распыления. В устройстве карусель вращается относительно центальных цапфы и штыря с помощью подшипников качения. Ведущий и ведомый диски имеют равнорасположенные отверстия, в которых вращаются приборы, установленные в них с помощью ряда пальцев. Центральный штырь сопряжен с ловителем, закрепленным на ведущем диске. Карусель герметизируется прижатием камер к стойке одноступенчатым способом за счет использования тяг, возможно использование карусельного и индивидуального способов обработки изделий. 2 ил.

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ, содержащее подвижную камеру, размещенные в ней неподвижную стойку, средство технологической обработки, карусель с держателями изделий, выполненную в виде двух дисков, один из которых ведущий, а другой ведомый, сопряженных между собой с помощью пальца и группы отверстий, расположенных на ведомом диске, число которых соответствует числу обрабатываемых изделий, и привод планетарного вращения карусели, включающий две зубчатые пары, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения эксплуатационных характеристик, оно снабжено двумя тягами, подвижно установленными в стойке, каждая из которых жестко связана с ведомым элементом одной из зубчатых пар привода карусели, и снабжено n 1 пальцами, где n число пальцев, равное числу отверстий, причем пальцы установлены на держателях изделий соосно с отверстиями, а камера и ведущий диск снабжены центральным штырем и ловителем соответственно, установленными с возможностью сопряжения.