УСТРОЙСТВО для НАНЕСЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК Советский патент 1973 года по МПК C23C14/50 

1

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для получения ферромагнитных пленок, используемых при изготовлении запоминающих устройств вычислительной техники.

Известно устройство для нанесения ферромагнитных пленок на немагнитные подложки, содержащее вакуумную камеру, испаритель, щелевую диафрагму, нагреватель подложек и механизм их перемещения. Однако феррома нитные пленки, полученные при IIOMOHUI известного устройства, характеризуются разбросом магнитных свойств в результате неизбежных изменени исходных технологических условш в процессе напыления.

Целью изобретения является увеличение производите. ISHOCTH и воснроизводимости свойств пленок. Это достигается тем, что механизм перемеи1еиия подложек выполнен в виде замкнутого транспортера, между движущимися лентами которого дополнительно укреплен измерительный прибор, регистрируюнгий магиптоупругость и толи.и11у магнитного слоя.

На черте}ке изображено предлагаемое устройство (стрелками показаны возможные направления орие1 тиру1ои1его магнитного поля Я).

Устройство состоит из вакуумной камеры 1. испарителя 2. щелевой диафрагмы Л, нагревателя 4 подложек, механизма неремси1ения 5

подложек, измерительного прибора 6. рсгистр11руюи1его магн11тоупр гость и то,пци11 магнитного слоя.

.еханизм перемещения ,) иодложек выпо.тион в виде замкнутого транспортера, иа ленто к(П-::)рог{) закреплены кассеты 7 для установки подложек. В ленто траиснортера имеется отг.орстие S (по размеру напыляемых нодложек). Размер отверстия обус,1ов,;1ивает идентичность времени, а следовательно толщины контрольной илоики во всей иартии изготавливаемых пленок.

cTpoiiciiio работает следуюни1м образом. После лттаповки подложек в кассетах 7 мехапмзма иеремоиюпия 5 подложек в вакуумной камере / создается вакуум. С номои1Ы) иагре1;пго.1Я -/ обсспсчиг.ается иеобхо.чимая темиература иодложек. Затем разогревается слиток металла ;; испарителе 2 с одиовремениым измеро1-;ием иосгоятиюй магнитоупругости контрольной илеики измерительным ирибором 6. ilo достижопии требуемой величины магиитоупругости, обусловлеииой оиределеииым ироnoiiTiibiM соотиоидег.ием комиоиеитов расплава,

лента транспортера с закрепленными иа ней 11п.ь)ожками приводится в дв11 кение. . aгпитiibiii конденсируется иа каждо ио.чложко за несколько ос проходов иа.ч исиарителем 2. Процесс коидег,саиии ирекраииются иосле по,-1 чоичм задатки ; то.ипигИ) магиитпого слоя.

KOTopbiii постоянно контролируется измерительным прибором 6.

В результате равномерного многократного нрохода нодложек над испарителем магнитные свойства всей нартии изготавливаемых иленок получаются идентичными. Из-за усредтюния свойств слоев, сконденсированных в носледовательные нроходы нод.южек над исиарителем, толщнна и ностоянная магнитоуиругости оказываются практическ. одинаковыми для всей нартни нленок.

Циклическое неремещенне с мног-ократпон конденсацне слоев обеспечивает идентичное техноло|-нческне условия для всех пленок, в результате чего выравниваются температурный режим 1)тдельных подложек, устраняются иерегрев подложек от радиапнонного излучения испарителя, а также эффекты, связатп-1ые с

угловой неоднородностью ориеит1фующе1-о иоля на значительных расстояниях от центра намагничивающей системы.

11 р с д м е т и 3 о б р е т е н и я

Устройство для нанесения феррома1-нптных пленок на немагнитные подложки, содержащее вакуумную камеру, испаритель, П1.елеву1(.

диафрагму, нагреватель нодложек и механизм перемеп1е11ия иодложек, отличающееся тем. что, с целью увеличения производительности и воспроизводимости свойств пленок, механизм перемещ.епия подложек выполпен в внде замкнутого транспортера, между движугнлмис/ леитами которогч) донолиительно укренлен пз,мерительиый прибор, регистрирующий Mai-niiTOVHpyiTiCTb и ТОЛИ1ННУ Д1агнитиого слоя.