УСТРОЙСТВО ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ В ВАКУУМЕ Советский патент 1966 года по МПК C23C14/26 

Р1звесгны различные устройства для металлизации в вакууме, в том числе и устройства барабанного типа.

Описываемое устройство отличается от известных тем, что испарители служат одновременно электродами тлеющего разряда, а весь объем корпуса коллектора заполнен маслопоглощающим сорбентом. Это упрощает конструкцию установок и сокращает рабочий цикл. Кроме того, испаритель снабжен саморегулируемым натяжным приспособлением, например, рычажного типа, для фиксации его в вертикальном положении.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство; на фиг. 2 - испаритель.

Устройство состоит из вакуумных камер /, внутри которых расположены барабаны 2 с кассетами и испарители 3, вакуумных затворов 4, коллектора 5, заполненного маслопоглощающим сорбентом, и системы для создания вакуума. Последняя состоит из паромасляного диффузорного на.соса, сильфона и ротационного форвакуумного насоса.

Испаритель 3 снабжен натяжным приспособлением для фиксации его в вертикальном положении, содержащим рычаг 6 с грузом 7 на одном конце, и клеммными зажимами 8 и 9. Другой конец рычага служит электрическим контактом держателя спирали нспарителя.

При накале спирали испарителя натяжение автоматически выравнивается грузом.

При работе устройства испаритель в первый период создания разрежения служит электродом тлеющего разряда, для чего на контакт испарителя подают напряжение 3000 а. После того, как тлеющий разряд погаснет, отключают высокое напряжение и на клеммы испарителя подают напряжение разогрева спирали для испарения исходного материала.

Предмет изобретения

1.Устройство для металлизации в вакууме, содержащее вакуумные камеры, внутри которых расположены барабаны с кассетами и испарители, вакуумные затворы, коллектор, ловушку, заполненную маслопоглощающим сорбентом, и систему для создания вакуума, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и сокращения рабочего цикла, испарители слул;ат одновременно электродами тлеющего разряда и весь объем корпуса коллектора заполнен маслопоглощающим сорбентом.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью фиксации испарителя в вертикальном положении, он снабжен саморегулируемым натяжным приспособлением, например, рычажного типа.

Sr.

Фиг.)

б /