УСТРОЙСТВО для СОВМЕЩЕНИЯ ЗАГОТОВОК ТВЕРДЫХ Советский патент 1970 года по МПК G03F9/00 H05K3/00 

Известные устройства для совмещения заготовок твердых схем или полупроводниковых приборов с фотошаблонами и экспонирования заготовок, содержащие .стол совмещения заготовки с фотошаблоном, осветитель, блок управления, блок питания и скафандр, характеризуются недостаточно высокой точностью совмещения.

В предлагаемом устройстве повышение точности совмещения достигается тем, что стол совмещения снабжен полусферическим присосом, укрепленным на поворотной колонке и соединенным через шток поршня; подвижную гильзу, цилиндр, опорную скобу и подвижную каретку, перемещающуюся в призматических направляющих, с неподвижной плитой, служащей для крепления фотошаблона.

Описываемое устройство приведено на чертеже.

Заготовку твердой схемы или полупроводникового прибора (на чертеже не показана) укладывают на полусферический присос / стола совмещения (на чертеже не показан), укрепленный на поворотной колонке 2. Фототаблон 3, установленный в рамке 4, располагают нал полусферическим присосом на неподвижной плите 5. Под давлением сжатого воздуха шток 5 порщня, перемещаясь вверх, выбирает зазор между головками болтов 7 и плитой 8 щтока. Далее болты увлекают за

собой подвил ную гильзу 9. Таким образом вся система движется до упора заготовки в фотошаблон 3. Полусферический щаблон выравнивает заготовку и плотно прижимается всей поверхностью к фотошаблону. Сжатый воздух подается в тормозную камеру 10, фиксируя подвижную гильзу в верхнем положении. Подвил ная гпльза перемещается вдоль образзющей внутренней полости цилиндра //, который посредством опорной скобы 12 и подвижной каретки 13 соединен .с неподвижной плитой. Каретка перемещается в призматических направляющих 14. Полость цилиндра //

соединяется с атмосферой, щток опускается вниз на величину зазора, образующегося между верхним торцом подвил ной гильзы и штоком в процессе первоначального подъема. Таким образом создается рабочий зазор между заготовкой твердой схемы и фотошаблоном. Затем совмеп ают рисунок схемы фотошаблона с заготовкой твердой схемы в горизонтальной плоскости в двух взаимно перпендикулярных направлениях и по зтлу.

Следить за процессом совмещения можно по изображению на телевизионном экране 15, переданному телевизионной камерой /(.

После совмещения шток под действием сжатого воздуха прил имает заготовку к фотозонную камеру и подводят лампу экспонирования 17, засвечивая совмещенную пару. После этого все механизмы приводят в исходное положение и начинают следующий цикл совмещения.

Предмет изобретения

Устройство для совмещения заготовок твердых схем или полупроводниковых приборов с фотошаблонами и экспонирования заготовок, содержащее .стол совмещения заготовки с фотощаблоном, осветитель, блок управления, блок питания и скафандр, отличающееся тем, что, с целью повышения точности совмещения, стол совмещения снаблсен полусферическим присосом, укрепленным на поворотной колонке и соединенным через щток поршня; подвижную гильзу, цилиндр, опорную скобу и подвижную каретку, перемешающуюся в призматических паправляющих, с неподвижпой плитой, служащей для крепления фотошаблона.