УСТРОЙСТВО для СОВМЕЩЕНИЯ ЗАГОТОВКИ ТВЕРДОЙ СХЕМЫ С ФОТОШАБЛОНОМ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ Советский патент 1973 года по МПК H01L21/27 

1

Изобретение относится к области электронной техники и предназначено для изготовления твердых схем и полупроводниковых приборов.

Известные устройства для совмещения заготовки твердой схемы с фотошаблоном и экспонирования, содержащие манипулятор для совмещения заготовки с фотошаблоном, микроскоп, лампу экспонирования, блоки управления и питания, характеризуются недостаточно высокой точностью совмещения, так как рабочий зазор между заготовкой и фотошаблоном, необходимый для совмещения, устанавливается или щупом, или по базовым упорам.

В предлагаемом устройстве повышение точности совмещения достигается тем, что манипулятор снабжен механизмо.м прецизионной регулировки рабочего зазора между заготовкой твердой схемы и фотошаблоном.

Кроме того, механизм прецизионной регулировки рабочего зазора выполнен в виде двух подвижных плит, одна из которых снабжена микровинтом и неподвижно соединена с подвижной гильзой, в которой шарпирно закреплен рычаг, проходящий через окно штока манипулятора и связанный с другой подвижной плитой. При этом свободный конец рычага взаимодействует с микровинтом так, что заданный посредством лимба зазор между рычагом и пятой микровинта при движении штока манипулятора вверх образует соответственно зазор между подвижными плитами, обеспечиваюп ий при последующем опускании щтока манипулятора и зафиксированном положении подвижной гильзы рабочий зазор между фотошаблоном и заготовкой твердой схемы. На чертеже показан манипулятор с механизмом регулировки рабочего зазора.

Манипулятор содержит шток / с плитой 2, подвижную гильзу 3 с плитой 4, цилиндр 5,

жестко связанный с каретками б и 7, корпус 8 с закрепленным на нем фотошаблоном 9 и опорную плиту 10. На штоке размещена колонка И со сферическим столиком 12 и закрепленной на нем заготовкой 13 твердой

схемы. На плите 4 размещена резьбовая .втулка 14 с микровинтом 15 и лимбом 16. Рычаг 17, шарнирно связанный с подвижной гильзой 3, выступом опирается на основание паза щтока манипулятора. На цилиндре 5

размещена тормозная камера 18 с плунжером 19.

Под действием сжатого воздуха шток двигается вверх и поворачивает рычаг 17, который свободным концом упирается в микровинт 15 и обеспечивает жесткую кинематическую связь с плитой 4 гильзы 5. Система шток - подвижная гильза двигается вверх до прижатия заготовки 13 к фотошаблону. Тормозная камера 18 плунжером 19 фиксирует

подвижную гильзу в верхнем положении.

Полость цилиндра 5 соединена с вакуумной