СПОСОБ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ОТХОДЯЩЕЙ ПАРО-ГАЗОВОЙ Советский патент 1970 года по МПК B01D53/14 C01B31/08 

Изобретение относится к цветной металлургии. Способ может быть использован при нейтрализации выбрасываемой паро-газовой смеси печей водородного восстановления поликристаллического кремния, применяемого для получения полупроводникового поликристаллического кремния, а также для нейтрализации любых других смесей газов, содержащих хлориды кремния.

Известен способ нейтрализации отходящей паро-газовой смеси печей водородного восстановления поликристаллического кремния, заключающийся в том, что паро-газовую смесь, состоящую из трихлорсилана, четыреххлористото кремния, хлористого водорода, водорода и полихлоридов кремния, сжигают, затем подвергают поглощению водой в скруббере. Однако образующиеся при этом токсичные продукты сжигания требуется разбавлять большим количеством воздуха, что увеличивает и осложняет аппаратуру. Кроме того, продукты выброса в атмосферу содержат воздух со следами хлористого водорода и со значительным количеством двуокиси кремния -(улавливание SiOa составляет лишь 50%).

Предлагается способ, по которому термообработку ведут в присутствии водяного -пара при температуре М5-140°С в эжекциондом устройстве. Способ позволяет повысить степень нейтрализации паро-газовой смеси (по

.2

200 раз) по сравнению со степенью нейтрализации по известному способу.

Пример. Паро-газовую смесь подают в пароструйный эжектор с центральным подводом смеси и периферийным подводом пара. Из эжектора ларо-газовую смесь подают в трубу Вентури, -в диффузоре которой разбрызгивается вода. Затем из трубы Вентури расгвор и паро-газовая смесь поступают в скруббер, орошаемый водой через форсунки. Из скруббера газ выбрасывают в атмосферу через гидрозатвор, а раствор - в систему кислотной канализации через сливной бак. При этом в атмосферу сбрасывают водород, содержащий следы НС1 и незначительное количество двуокиси кремния (в 200 раз меньше по сравнению с известным способом).

Предмет изобретения

1. Способ нейтрализации отходящей парогазовой смеси печей водородного восстановления поликристаллического кремния путем термообработки паро-газовой смеси с последующим поглощением водой, отличающийся тем,

что, с целью повышения степени нейтрализации, термообработку ведут в присутствии водяного пара при температуре 115-140°С.