Изобретение относится к химической технологии, в частности к .получению сухого хлористого водорода, используемого в синтезе трихлорсилана.
Известен промышленный способ получения хлористого водорода из газообразных хлора и водорода, сжигаемых в пламени горелки.
Для .получения сухого хлористого водорода либо предварительно очищают от влаги и кислорода хлор и водород, либо сушат полученный хлористый водарод конденсацией или абсорбцией.
При иапользо1вании влажного хлористого водорода IB процессе гидрохлорирования кремния выход трихлорсилана снижается.
Кроме того, для .проведения реакций требуется коррозионно-стойкое оборудование.
С целью упрощения способа получения сухого хлористого водорода, предлагается влагу химически связывать непосредственно в пламени горелки путем добавления в хлор или водород хлоридов кремния, например тетрахлорида кремния или трихлорсилана. При этом в пламени горелки протекают следующие реакции:
Hs-t-Cb-2НС1(1)
Реакция (2) протекает за счет кислорода,
присутствующего в хлоре и водороде, реакции
(3) .и (4) - за счет влаги, содержащейся в
хлоре и водороде, и влаги, образующейся в
результате реакции (2).
Таким образом, непосредственно «в пламени горелки влага реагирует с образованием твердой двуокиси кремния, которая осаждается на стенках печи, а также в циклоне (расширителе) или на фильтрах.
С целью удешевления способа и расширения сырьевой связи предлагается вместо водорода иснользовать парогазовую смесь, получаемую в процессе производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления его хлоридов. Парогазовая смесь обычно содержит (в об. %)
ВодородНе менее 92
Хлористый водородНе более 5
Хлориды кремнияНе более 3
Наличие в смеси хлоридов кремния позволяет связывать влагу хлора по реакциям (3) и (4).
Пример. Парогазовую смесь, содержащую в %: 94 Н2, 4НС1 и 2 хлоридов кремния, и газообразный хлор подают в горелку печи синтеза хлористого водорода с давлением 0,7 ати. Получают хлористый водород, имеющий следующий объемный состав (в об. %): 98 НС1, 1 Н2 и 1 хлоридов кремния. Влага отсутствует. 3 На стенках печи и в расширителе обнаружен налет двуокиси кремния. Предмет, изобретения5 1. Способ получения сухого хлористого водорода из газообразных хлора и водорода, сжигаемых в пламени горелки, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа и непо- Ю средствеиного химического связывания влаги в пламени горелки, к одному из исходных компонентов добавляют хлориды кремния. 3320 8 4 2. Способ то п. 1, отличающийся тем, что, с «целью удешевления процесса и расширения сырьевой базы, водород применяют в виде паро-газовой смеси, получаемой в процессе водородного воостановлеаия поликристаллического кремния и содержащей водород, хлористый водород и хлориды кремния, 3. Способ по ип. 1 и 2, отличающийся тем, что применяют паро-газовую смесь, содержащую (В об. %): ВодородНе менее 92 Хлористый водород Не более 5 Хлориды кремнияНе более 3
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧИСТОГО ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | 1993 |
|
RU2078034C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА | 2004 |
|
RU2280010C1 |
Способ получения хлорсиланов из аморфного кремнезема для производства кремния высокой чистоты | 2017 |
|
RU2637690C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА | 2002 |
|
RU2217371C1 |
СПОСОБ НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ОТХОДЯЩЕЙ ПАРО-ГАЗОВОЙ | 1970 |
|
SU262843A1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | 2004 |
|
RU2278075C2 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА | 2008 |
|
RU2394762C2 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | 2018 |
|
RU2674955C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА | 2004 |
|
RU2274602C1 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ | 2007 |
|
RU2357923C2 |
Авторы
Даты
1972-01-01—Публикация