СВЯЗКА ДЛЯ АБРАЗИВНОГО ИНСТРУМЕНТА Советский патент 1970 года по МПК B24D3/00 C09K3/14 

Изобретение относится к связкам для абразивиого ииструмента.

Известна связка для абразивного инструмента, например, алмазного, содержащая синтетический компонент.

Целью изобретения является снижение шероховатости обрабатываемой поверхности, преимущественно полупроводниковых материалов.

Это достигается тем, что связка включает 66-95 вес. % фторопласта и 5-35 вес. % легкоплавкого, иапример, боросвинцового стекла.

Осиовным недостатком алмазного инструмента на известных связках является невозможность получения чистоты поверхности выше V8 - V9, сравнительно большая глубина дефектного слоя до 9 мк. Кроме того, на поверхности пластин в процессе шлифования иоявляются направленные риски, снижающие качество обработанной поверхности.

Предложенная связка для абразивного инструмента снижает шероховатость обрабатываемой поверхности полупроводниковых Л1атериалов, уменьшает величину нарупаенного поверхностного слоя, уменьшает количество каиравлеиных рисок на поверхности, повышает самозатачиваемость инструмента.

В качестве легкоплавкого стекла предусматривается применять неорганическое стекло, например, боросвинцовое с температурой начала размягчения 300-380°С, т. е. близкой к температуре плавления фторопластовой фракции связки.

Фторопластовая фракция связки обусловливает хорошие полирующие свойства инструмепта. Легкоплавкое стекло достаточно хороню смачивает алмаз, тем самым предопределяя повышенное удержание алмазных зерен в связке.

с тем, отличаясь хрупкостью, легконлавкое стекло б.тагоириятствует процессу самозатачивания инструмента.

Для увеличения режущей способности инструмента на предлагаемой связке рабочую поверхность делают рифленой на всю глубину алмазоносного слоя.

Рабочую поверхность оформляют рифлениями «мелкая вафля или «ромбик.

Алмазные круги на предлагаемой связке обеспечивают получепие класса чистоты новерхиостн НС ннже VII - V12.

порошков фторопласта и легкоплавкого стекла; приготовлении связки; смешивании связки с алмазным порошком; загрузке алмазного порошка в пресс-форму; холодным брикетировании алмазоносного кольца под давлением 200-400 кгс/см ; спекании алмазоносных колец в форме в специальных печах с вращаюш,имся поддоном и принудительной циркуляцией воздуха при температуре 380- 400°С.

4 Предмет изобретения

Связка для абразивного инструмента, например, алмазного, содержашая синтетический компонент, отличающаяся тем, что, с целью снижения шероховатости обрабатываемой поверхности, преимущественно, полупроводниковых материалов, связка включает 66- 95 вес. % фторопласта и 5-35 вес. % легконлавкого, например, боросвинцового стекла.