ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ Советский патент 1971 года по МПК H01L29/54 

Изобретение относится к технологии изготовления квантролов (полупроводниковых переключателей с S-образной симметричной вольт-амперной характеристикой) на основе халькогенидных и оксидных стекол в дискретном исполнении.

Известно, что омические контакты дискретных образцов квантролов выполняются в виде двух графитовых полированных полусфер. Использование в качестве омических контактов графитов любой марки приводит к нестабельности параметров, понижению напряжения срыва, завышению тока пробоя из-за наличия неизбежной пористости и шероховатости на поверхности графита.

Предлагаемый способ изготовления омических контактов со,стоит в следуюш;ем.

Омические контакты выполняются в виде двух электродов, причем форма нижнего электрода представляет собой плоскость, а верхнего - полусферу. В качестве материала омических контактов предлагается стеклоуглерод.

Преимушество стеклоуглерода в том, что он обладает зеркальной поверхностью, пористость которого составляет 0,2-0,4% по сравнению с пористостью графитов, лучшие марки которого имеют пористость порядка, 8-Юа/онием слоя полупроводникового стекла, что является очень важной операцией.

При использовании омических контактов, выполненных из стеклоуглерода, технология изготовления квантролов с.1едующая: а) стеклоуглеродные электроды тщательно обезжириваются в спирте и обезгаживаются в вакуумной установке; б) на подготовленные электроды, например, вакуумным термическим напылением наносится слой полупроводникового стекла; в) оба. электрода собираются в стеклянный корпус и запаиваются в атмосфере аргона.

Сравнительные параметры квантролов с графитовыми и стеклоуглероднымИ омическими контактами приведены в таблице.

КвантрОлы со стекКвантролы с графитовыми

лоуглеродными электродами

электрода.ми

VT 7,5 20 в (пороговое)

10-20 в Vc 1,5-2,5 в (остаточное) 1,5-2,5 в YT 10 -15 ма (пробоя)

1-10 мка ма (выключение) 1-5 ма 3 Предмет изобретен HI я Полупроводниковый переключатель на основе халькогенидных и оксидных стекол с 4 омическими контактами, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности работы прибора, омические контакты выполнены из стеклоуглерода.