ПАТЕНТНО-ТЕХИ',1'1Е:НАЯБИБЛИОТЕКА Советский патент 1971 года по МПК B43L13/02 

Изобретение относится к контрольно-измерительным чертежным машинам с программным управлением, служаш.им для вычерчивания в увеличенном масштабе контуров элементов топологии микроэлектронных схем по программам, составленным для работы микрофотонаборных устройств. Машина, кроме того, позволяет быстро и качественно производить визуальный контроль правильности составления как самих программ, так и правильности подготовки исходных данных.

.Машина содержнт програ.ммное устройство, координатный чертежный сто,;, имеющий две взаимно перпендикулярные направляющие с кареткой на каждой из иих, приводимой в движение от самостоятельного привода, связанного с программным устройством. На одной из кареток укреплен предметный стол для креплепия чертежной будмагн, на другой каретке смонтнрована чертежная головка, содержан1,ая четыре подвижных упора, образуюHurx прямоугольное окно переменного нрофиля. По контуру окна обкатывается сменный держатель с нншущим нрнспособленнем, закрепленный в нереставном относительно нлоскостн окна шаровом шарнире. Держатель и уисры имеют нрнводы.

во }, коордииатный чертежный стол 2 и чертежную головку 5.

Координатный чертежный стол имеет основание 4, на котором укреплены две взаимно перпепдикулярные направляющие 5 с установленными на каждой из них каретками 6 и 7. Каретка 6 несет на себе предмегный стол S для крепления чертежной бумаги, а каретка 7-чертежную головку 3. Каждая из кареток связана собственной парой виит-гайка 9 с самостоятельным управляемым электроприводом 10 и датчиком 11 обратной связи. Обе каретки с приводами и датчиками одинаковы но конструкции :и независимы в работе.

Управление электроприводами кареток в отдельности осуществляет программное устройство в зависимости от задаваемь х координат. Чертежная головка содержит четыре нодвИжлых упора 12, представляющие собой

пластины, размещенные-попарно одна под другой в направляющих пазах корпуса чертежной головки так, что перемещение одной пары пластин не препятствует неремещенню другой нары. Упоры имеют попарный электропрнвод

с датчиками положения и образуют прямоугольное окно переменного профиля, в котором находится смен-ный держатель 13, закрепленный в :переставном относительно плоскости стола шаровом шарнире 14.