СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РУТЕНИЕВЫХ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1971 года по МПК C23C16/16 

Изобретение относится к области получения металлических покрытий термическим разложением соединений металлов в вакууме, в частности к области получения рутениевых покрытий.

Известен способ получения рутениевых покрытий термическим разложением карбонилгалоидных соединений рутения.

Предложенный способ отличается от известного тем, что в качестве карбонилгалоидного соединения используют циклопентадиенилдикарбонилйодид рутения. Это позволяет повысить скорость осаждения покрытий.

По предложенному способу процесс осуществляют в вакуме 0,5- - мм рт. ст. в парах циклопентадиенилдикарбонилйодида рутения при температуре покрываемой детали 450-500°С.

После нанесения покрытия деталь выводят из зоны паров и выдерживают при температуре 500°С в течение 10-15 мин для улучшения спепления покрытия с основой.

Скорость осаждения покрытия составляет 0,6-0,8 мк/мин, что в 3--4 раза превышает скорость осаждения рутениевых покрытий по известному способу. При этом продукты распада не реагируют с подложкой, чем обеспечивается постоянство формы и веса подложки. Описываемым способом можно наносить высококачественные рутениевые покрытия толщиной 0,2-0,5 мк на различные металлы, стекло и керамику.

Предмет изобретения

Способ получения рутениевых покрытий термическим разлол ением карбонилгалоидного соединения рутения, отличающийся тем, что, с пелью повышения скорости осаждения, в качестве карбонилгалоидного соединения используют пиклопентадиенилдикарбонилйодид рутения и процесс осуществляют при температуре подложки 450-500°С и вакууме 0, - мм рт. ст.