ВАКУУМНАЯ НАПЫЛИТЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА Советский патент 1971 года по МПК C23C14/56 

Изобретение относится к технологии нроизводства радиоаппаратуры и может быть использовано для изготовления интегральных криотронных схем методом напыления через трафареты.

Известна вакуумная напылительная установка, содержащая вакуумную камеру, механизм смены трафаретов и испарителей и загрузочное устройство с шлюзовым затвором.

Недостаток известной вакуумной напылительной установки состоит в непроизводительных затратах времени на смену трафаретов и откачку вакуумной камеры.

Цель изобретения - повышение производительности установки.

Это достигается тем, что шлюзовое загрузочное устройство выполнено съемным, а между шлюзовым затвором и вакуумной камерой расположен дополнительный затвор.

На чертеже схематически изображена вакуумная напылительпая установка.

Установка содержит вакуумную камеру 1, в которой установлен подложкодержатель 2 с подложкой, укрепленной на конце штока 3, механизм смены трафаретов 4 и испарителей 5, смонтированный на фланце 6, шлюзовое загрузочное устройство 7 с шлюзовым затвором 8, дополнительный затвор 9, вакуумный насос 10 и сальниковое уплотнение 11, через которое проходит шток 3. Шлюзовое

устройство выполнено съемным, а дополнительный затвор 9 расположен между шлюзовым затвором 8 и вакуумной камерой 1. Напыление на подлолску производится через все имеюш;иеся в устройстве трафареты, после чего шток 3 выводят вверх до тех пор, пока подложкодержатель 2 с подложкой не окажется в шлюзовом загрузочном устройстве 7. Последнее снимают с установки, нерекрыв его шлюзовым затвором 8, и включают всномогательный вакуумный насос 10, ноддерживаюш;ий в шлюзовом устройстве необходимое время высокий вакуум.

Если имеется только одна вакуумная напылительная установка, то вакуумная камера вскрывается, трафареты 4 и, если необходимо, иснарители 5 меняются, вакуумная камера вновь закрывается и откачивается, после чего шлюзовой затвор 8 открывается и иодложкодержатель 2 с подложкой опускается в положение, при котором осупдествляют дальнейшее напыление.

Если вакуумных напылительных установок несколько, то в них могут быть смонтированы

различные трафареты и тогда напыление схемы производится на двух или более установках. При этом после выведения подложкодержателя 2 с подложкой в шлюзовое загрузочное устройство 7 закрывают шлюзовой затворы S и Р разъединяют, накачивая между ними воздух, шлюзовое загрузочное устрайство 7 с наполовину напыленной схемой переносят на вторую вакуумную напылительную установку. Далее соединяют затвор 8 шлюзового загрузочного устройства 7 и затвор 9 второй напылительной установки, откачивают воздух из межшлюзового пространства, открывают оба затвора 8 и 9, опускают подложкодержатель 2 с подложкой в рабочее ноложение для дальнейшего напыления схемы. В то же время на первую установку помещают другое шлюзовое загрузочное устройство с подготовленной к напылению нодложкой и напыление схемы ведут параллельно на, двух установках.

Предмет изобретения

Вакуумная нанылительная установка, содержаш,ая вакуумную камеру, механизм смены трафаретов и иснарителей и шлюзовое загрузочное устройство с шлюзовым затвором, отличающаяся тем, что, с целью повышения производительности установки, шлюзовое загрузочное устройство выполнено съемным, а между шлюзовым затвором и вакуумной камерой расположен дополнительный затвор.