ПОКРЫТИЕ НА ДИЭЛЕКТРИКАХ Советский патент 1972 года по МПК C03C17/09 C03C17/245 

(1

Изобретение относится к области изменения электрических и оптических свойств диэлектриков путем на есения на их поверхность тонких полупроводниковых покрытий.

Известно покрытие на днэлектриках, включающее молибден.

С целью повышения поверхностной электропроводности, оно дополнитель 1о содержит двуокись титаиа при следующем соотношеннн компонентов, вес. %:

Мо30-70

TiO230-70

Покрытия из микрокомпозицни двуокиси титана и молибдена могут быть нолучены различными способами, например:

1.Нанесением на поверхность диэлектрика слоя состава двуокись титана-трехокись молибдена с последуюп1,ей обработкой в атмосфере водорода при 400-800°С. Исходный слой TiOa-МоОз наносится при этом на диэлектрик путем гидролиза смеси этилового эфира ортотитановой кислоты и нятихлорнстого молибдена, растворенных в спирте или одновременным реактивным катодным распылением титана и молибдена в атмосфере кислорода.

В зависимости от соотношения концентраций, входящих в микрокомнозиционный слой компонентов, можно нолучать нокрытня с удельным новерхпостным сонротивлением от

10 до 1010 ом и светопронусканием 20-75% соответственно.

Эти покрытия устойчивы по электрическим и оптическим свойствам в атмосфере водорода до 700-800°С и во влажной атмосфере

(относительная влажность 98% до 50°С).

Механическая прочность покрытий очень высока: для их удаления с поверхности диэлектрика (кварц, стекло, ситалл, керамика) требуется шлифовка абразивным порощком.

В качестве токонодводов к проводящему покрытию можно нснользовать серебро, впеченное из известных снециальиых паст, или металлические слои, наносимые вакуумным испарением.

Предмет изобретения

Покрытие на диэлектрнках, включающее молнбден, отличающееся тем, что, с целью повышения поверхностной электропроводности, оно донолннтельно содержнт двуокись титана при следующем соотнощении компонентов, мол. %: