СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ Советский патент 1971 года по МПК H01B19/04 

Известны способы изготовления электропроводящих покрытий путем одновременного вакуумного испарения и последующего осаждения на покрываемую поверхность окисладиэлектрика и металла или другого проводящего вещества (например, силицида).

Недостатком известного способа является сложность контролирования соотношения концентраций, составляющих композицию компонентов; достаточно сложной является и аппаратура, необходимая для осуществления известного способа.

Предлагаемый способ получения электропроводящих покрытий позволяет достаточно точно контролировать состав, и, следовательно, и свойства покрытия, и не требует сложной аппаратуры для его реализации.

Способ заключается в том, что на покрываемую поверхность, преимущественно диэлектрика (плавленый кварц, керамика и т. п.) вначале наносят слой из смеси двух или нескольких окислов путем гидролиза смеси легкогидролизующихся соединений, растворенных в спирте или другом летучемрлстворителе. При этом одни соединения образуют окислы, устойчивые- К-действию карбидизирующего реагента,; другие - окйсль,/дающие в результате, этрго.,действия карбид- ме талла. Науглероживание при соответствующих температурах ведет к образованию проводящего слоя, состоящего из микрокомпозиции окисла-диэлектрика и карбида металла. В качестве карбидизирующего реагента могут применяться различные углеводороды, на пример метан, пропан и т. п.

Как известно, карбиды металлов являются металлоподобными соединениями и обладают высокой электропроводностью. Поэтому содержание карбида в микрокомпозиции определяет величину электропроводности покрытия. Состав и, тем самым, электрические и оптические свойства покрытия определяются его толщиной (0,01-0,5 мкм) и соотношением концентраций гидролизующихся соединений в исходном растворителе.

Покрытия из окисла-диэлектрика и карбида металла, например, могут быть получены из растворенного в этиловом спирте этилового эфира ортокремниевой кислоты и лятихлори.стого молибдена известным методом «Хи-j

мического просветления с доследующей карбидизацией покрытия в атмосфере пропана

при 700-800°С.

Предлагаемым способом можно получать

.т.акже проводящие покрытия с составом: двуокись кремния - карбид вольфрама, двуокись титана - карбид молибдена и т. п.

покрытия и содержания карбида металла лежать в пределах ом-. Светопропускание при этом составляет 5-70%.

Предмет изобретения

1. Способ получения покрытий путем карбидизации, отличающийся тем, что, с целью получения покрытий с регулируемыми характеристиками электропроводности на поверхности нагревостойких диэлектриков, на покрываемую поверхность наносят композицию из нескольких окислов-диэлектриков, одни из которых устойчивы к действию карбидизирующего реагента, а другие образуют карбид металла.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что композицию окислов получают путем гидролиза смеси легкогидролизующихся соединеНИИ на покрываемой поверхности.