ИНСТРУМЕНТ ДЛЯ АБРАЗИВНОЙ РЕЗКИ ТОНКИХ ПЛАСТИН Советский патент 1972 года по МПК B28D5/04 

Изобретение относится к производству активных элементов в микроэлектронике, в частности, к операции резки пластин, например кремниевых на отдельные кристаллы.

Известны инструменты для абразивной резки тонких пластин, у которых в качестве режущего инструмента применен набор натянутых стальных полотен с определенным шагом, закрепленных в прямоугольной рамке с помощью стяжных винтов и разделенных прокладками.

Недостатками таких инструментов являются малая их долговечность и отсутствие возможности его быстрой реставрации без значительных затрат.

Цель изобретения - увеличить долговечность режущего инструмента и уменьшить ширину реза, а также улучшить качество разрезанных кристаллов.

Достигается это тем, что набор лолотен консольно закреплен в рамке, а режущие кромки полотен выполнены выступающими за рамку и расположены ближе к стяжным винтам, лричем прокладки проложены по всей длине полотен.

На фит. 1 изображен описываемый инструмент, продольный разрез; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез на фиг. 1.

бор стальных полотен 2 толщиной 0,03 мм, что позволяет полнее использовать кремниевую пластину с заданным шагом, определяемым прокладками 3.

Для фиксации набора в рамке имеются стяжные винты 4.

По мере износа режущие полотна могут лодаваться на любую величину, что значительно увеличивает долговечность инструмента.

Установка, в которой применяется описываемый инструмент состоит из «оворотного стола, на котором неподвижно крепится кремниевая пластина, соверщающая возвратнопоступательное движение, и режущего инструмента, прижимаемого к пластине с регулируемым усилием.

В процессе резания пластина поливается абразивной эмульсией. Для контроля глубины реза над режущим

инструментом устанавливается индикатор.

Для первоначальной установки пластины относительно рел :ущих кромок инструмента в установке имеется микроскоп. Результаты испытаний показали значительное повышение

производительности операции резания кремниевой Пластины на кристаллы.

набор режущих полотен, разделенных прокладками и закрепленных с помощью стяжных винтов в прямоугольной рамке, отличающийся тем, что, с целью увеличения долговечности и уменьщения ширины реза, набор

полотен консольно закреплен в рамке, а режущие кромки полотен выполнены выступающими за рамку и расположены ближе к .стяжным винтам, причем прокладки проложены по всей длине полотен.