УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИСПАРИТЕЛЕЙ Советский патент 1972 года по МПК C23C14/26 

Изобретение может быть использовано в автоматизированных установках для производства интегральных микросхем методом стабилизации скорости напыления путем строгой дозировки вещества, подаваемого на испарение в единицу времени.

Известные устройства для загрузки испарителей, например, для вакуумных напылительных камер, содержащие бункер, дно которого снабжено отверстием для выгрузки материала, лоток, механизм дозировки с диском и приводной механизм, обладают низкой точностью дозировки вещества в процессе напыления.

В предлагаемом устройстве для повышения точности дозировки вещества в процессе напыления диск расположен на дне бункера и снабжен калиброванными отверстиями, на корпусе бункера закреплена пружинная скоба, перекрывающая ряд калиброванных отверстий над лотком, а приводной механизм выполнен в виде шагового двигателя, вал которого жестко соединен с диском механизма г;озировки.

На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства с разрезом по Л-Л.

диск 9 порционной загрузки, на нижнем выступе которого по окружности находятся калиброванные отверстия 10, заполняемые распыляемым веществом. Обойма 6 бункера имеет в нижней части пылеуловитель 11, предотвращающий попадание порощкообразного вещества в редуктор 2, и ссыпное отверстие 12. Над ссыпным отверстием на корпусе обоймы 6 закреплена пружинная скоба 13.

Устройство работает следующим образом.

Распыляемое вещество засыпается в бункер 3, состоящий из обоймы 6 и крышки 7. В бункере расположен ступенчатый диск 9 порционной загрузки. Пружинная скоба 13

своей нижней плоской частью прижимается к выступу диска 9 порционной загрузки и плотно закрывает ряд калиброванных отверстий 10, отделяя их от остального объема бункера 3, в результате чего в этих отверстиях образуются строго определенные дозы вещества. При вращении диска 9 порционной загрузки калиброванное отверстие 10 совмещается с ссыпным отверстием 12, и дозированная порция вещества по лотку 4 попадает в тигель 5.

Диск 9 порционной загрузки жестко закреплен на выходном валу 8 редуктора 2, выходной вал которого связан с валом шагового двигателя /. шагового двигателя. Скорость подачи вещества в тигель 5 определяет скорость осаждения вещества. Предмет изобретения Устройство для загрузки испарителей, например, для вакуумных напылительных камер содержащее бункер, дно которого снаожено отверстием для выгрузки материала, лоток, механизм дозировки с диском и при510 водной механизм, отличающееся тем, что с целью повышения точности Дозировки вещества в процессе напыления, диск расположен на дне бункера и снабжен калиброванными отверстиями, Sa корпусе бункера закреплена пружинная скоба, перекрывающая РЯД калиброванных отверстий над лотком, а приводной механизм выполнен в в«де щагового двигателя, вал которого жестко соединен с диском механизма дозировки.

АД