1 I
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля оптической толщины в процессе доводки кристаллических пластин интерференционно-поляризационного фильтра.
Известен способ контроля толщины в процессе доводки кристаллических пластин интерференционно-поляризационного фильтра, одна из которых - опорная, а другая - подгоняемая в два раза толще или тоньше, или такой же толщины, что и опорная, при любой длине волны источника света и любой температуре.
О правильности доводки дробной части оптической толщины судят по отсчетам компенсатора Сенармона, получаемым сначала при контроле одной, а затем при контроле подгоняемой и опорной пластин вместе. Произвольная температура при контроле пластин поддерживается термостатом.
Однако разброс отсчетов, получающийся при фиксировании положения погасания в компенсаторе Сенармона и колебания температуры в термостате от измерения к измерению, приводит к снижению точности контроля.
ному положению интерференционных полос, которые одновременно получают как на опорной пластине, так и на опорной и подгоняемой при их совместном действии.
На чертеже представлена схема, реализующая предлагаемый способ.
Опорную пластину 1 и подгоняемую пластину 2 помещают между поляроидами 3 в
параллельный пучок света, создаваемый источником 4 монохроматического света и коллиматором 5. Если толщины пластин приблизительно отличаются в два раза, их частично взаимно перекрывают, а оптические оси разворачивают на 90°. С помощью кристаллического клина 6 получают интерференционные полосы на клине, на опорной пластине при совместном действии с клином и на общей части опорной и подгоняемой пластине
с клином при совместном действии с клином. Интерференционные полосы наблюдают через объектив 7. Доводку пластины ведут до тех пор, пока интерференционные полосы на опорной пластине и интерференционные полосы на перекрывающейся части опорной и подгоняемой не расположатся симметрично относительно полос на клине. При этом подгоняемая пластина окажется в два раза толще опорной. Наоборот, если опорной являетлучения такого же расположения интерферен-ционных полос.
Пластины приблизительно одинаковой толщины помещают в пучок рядом, оптические оси ориентируют параллельно. Доводку дробной части толщины контролируемой пластины ведут до тех пор, пока интерференционные полосы, получаемые с помощью клина, не совпадут на обеих пластинах.
Нониусное совмещение интерференционных линий обеспечивает высокую точность контроля оптической толщины. Контроль не зависит ни от длины волны источника света, ни от температуры, и при этом отпадает необходимость термостатирования пластин, так как и опорную контролируемую пластину помещают в одинаковые условия и измеряют одновременно.
Предмет изобретений
Способ контроля толщины кристаллических пластин интерференционно-поляризационного фильтра в процессе доводки, одна из которых- опорная, а другая- подгоняемая, в два раза толще или тоньше, или такой же толщины, что и опорная, при любой длине волны источника света и любой температуре,
отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, о правильности доводки судят по взаимному положению интерференционных полос, которые одновременно получают как на опорной пластине, так и на опорНОЙ и подгоняемой при их совместном действии.
