СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГИБКИХ СВЕРХПРОВОДНИКОВ Советский патент 1972 года по МПК H01L39/12 

Изобретение относится к области производства гибких сверхпроводников с интерметаллическим соединением NbsSn методом нанесения из расплава олова на ниобиевую подложку.

Известен диффузионный способ получения NbsSn, но которому ниобиевую подложку отжигают и очищают в вакууме при температуре 900-1100°С, покрывают тонким слоем олова при температуре 60-750°С. После этого ниобиевую подложку с нанесенным на нее слоем олова подвергают термообработке при температуре 930-1050°С.

Ввиду высокой упругости паров олова при температуре 930-1050°С одновременно с процессом образования соединения NbsSn происходит интенсивное испарение олова с ниобиевой подложки и это в определенный момент приводит к прекращению роста соединения NbsSn.

Цель изобретения разработка способа получения гибких сверхнроводников с и-нтерметаллическим соединением Nb.-sSn, улучшение критических параметров сверхпроводника.

Это достигается проведением в высоком вакууме (10 °-5-10 5 мм рт. ст.) следующих технологических процессов. Ниобиевую подложку протаскивают через печь предварительной термообработки, в которой при температуре 900-1100°С в течение 3-20 мин происходит отл(иг подложки и удаление с ее поверхности загрязнений и адсорбированных газов. Затем подложку протаскивают через расплав олова при температуре 600-970°С в

течение 3-30 мин. В зависимости от температуры расплава на подложке образуется какой-либо из интерметаллидов ЫЬзЗпа, Nb2Sn3 или Nb;jSn и она покрывается избыточным слоем олова толп1иной 3-5 Л1К.

Далее проводят ступенчатую термообработку в печах отжига. Сначала проводник подвергают термообработке при температуре 800-900°С в течение 4-20 мин. (первая ступень) . При этом за счет избыточного слоя

олова образуется соединение NbgSng. В результате последующей термообработки (вторая ступень) при температу ре 950-1050°С в течение 5-20 дмн интерметаллид ЫЬз5п2 преобразуется в соединение NbsSn.

Таким образом, ступенчатая термообработка позволяет значительно уменьшить испарение олова с подложки и связать его в соединение 1МЬз5п2, которое при дальнейшей термообработке преобразуется в соединение ЫЬзЗп.

25

Предмет изобретения 3 плав олова при температуре 600-970°С и термообработки при температуре 950-1050°С, отличающийся тем, что, с целью улучшения критических параметров оверхпроводпика, пе4ред термообработкой при температуре 950- 1050°С подложку подвергают термообработке при температуре 800-900°С в течение 4- 20 мин.