СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ Советский патент 1972 года по МПК G01N31/02 

Изобретение относится к области технической физики, в частности, к измерению концентрации примеси в твердом теле.

Известен способ измерения распределения примесей в тонких пленках, заключающийся в активировании нейтронами материала образца поэтапным травлением и измерением активности полученного раствора по отношению к активиости образца сравнения.

Недостаток известного способа - ограниченное число материалов исследования вследствие трудности контроля травления.

Предлагаемый способ дает возможность определить распределение примесей в достаточно тонких пленках 50А, расширить класс исследуемых материалов и может быть применен при экспериментальном изучении распределения примеси в тонких пленках и многослойных тонконленочных системах.

Процесс измерения заключается в том, что исследуемую топкую пленку с распределенной в ней нримесью помещают в электролитическую ванну, к клеммам которой подают напряжение, и измеряя разницу в количестве электричества, необходимого для анодного растворения (или катодного восстановления) соответствуюн.1их интервалов толщин пленок исследуемого образца, и образуя сравнения, онределяют распределение примесей.

Предмет изобретения

Способ измерения распределения примесей в тонких пленках, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона исследуемых веществ, исследуемую тонкую пленку с распределенной в ней примесью помещают в электролитическую ванну, измеряют разницу в количестве электричества, необходимого для анодного растворения (или катодного восстановления) соответствующих интервалов пленок исследуемого образца и образца сравнения и электрохимическим путем определяют распределение примесей.