УСТАНОВКА ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ ВЫВОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ Советский патент 1972 года по МПК H01L21/00 

Изобретение относится к полуироводниковой технике и может быть использовано для присоединения к контактным плош,адкам на кристалле и ленте внутренних выводов полупроводниковых приборов.

В известной установке каретка с рабочим инструментом жестко установлена на плите манипулятора, с помощью которого оператор сообщает инструменту движение в горизонтальиой плоскости для совмещения его с точками сварки (вертикальное перемещение инструмента осуществляется его приводом).

Одпако эта установка имеет низкую производительность, поскольку оператору приходится с помощью манипулятора совмещать инструмент поочередно с каждой точкой сварки.

Цель изобретения - автоматизация подачи рабочего инструмента к точкам сварки.

Цель достигается тем, что в предлагаемой установке каретка с рабочим инструментом установлена не иеиосредственно на плите манипулятора, а через две промежуточные плиты, перемещающиеся независимо от плиты манипулятора в двух взаимно перпендикулярных направлениях с помощью зак репленных на них рычагов, которые взаимодействуют с упорами, установленными на плпте манипулятора, и дополнительными к лачкаМИ на общем валу привода каретки инструмента.

Ца фиг. 1 дан общий влд каретки с инструментом, нривода и манипулятора; на фиг. 2 изображена контактная площадка полупроводникового прибора с точками сварки.

Сварочная головка / механизма сварки установлена на направляющих 2 п 3, которые поджаты прул ипами к упорам 4 i 5 через рычаги 6 и 7. Длина рычагов легко изменяется в необходимых пределах. Рычаг 6 закреплен шариирно на каретке. Один его конец поджат к упору 4, закрепленному на направляющей, другой - к кулачку 8. Рычаг 7 однпм «онцом упирается в утор 5, установленный на плпте манипулятора, другим обкатывает кулачок 9. С помощью регулпровочных микровинтов 10, 11, 12 регулируется величина хода сварочной головки. Кулачки 8, 9 закреплеиы па общем кулачковом валу, который вращается от электродвигателя 13.

Работает установка следующим образом.

Оператор при помощи манипулятора 14 совмещает рабочий инструмент с первой контактиой площадкой (фиг. 2) п включает электродвигатель с помощью кнопки, расположенной на ручке манипулятора. Дальнейшее управление электродвигателем осуществляется автоматически программным устройством (не показано). Цри вращении кулачкового