Устройство для изготовления сферического шлифа Советский патент 1982 года по МПК B24B11/00 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СФЕРИЧЕСКОГО ШЛИФА

I

Изобретение относится к абразивной обработке материалов и может быть исх пользовано в производстве полупроводниковых структур при контроле их электрофизических параметров.

Известен станок для изготовления сферического шлифа, содеркаший опору с установленным на ней сферическим притиром и нажимным устройстве), привод, предметный столик, закрепленный на вьгчаге, дающий возможность опускать предметный столик с закрепленной на нем полупроводниковой структурой на сферический притир, электромагнит, создающий тарированный прижим структуры к сферическому притиру, и электронную cxesiy, обеспечивающую питание, управление, сягнализащпо и отключение привода 1 .

Йаиболее существенным недостатком данного устройства является отсутствие возможности использования сферических притиров разных диаметров, что необходимо для шлифования полупроводниковых

структур с разной толщиной эшггаксяалЕ ных слоев.

Цепью изобретения является расщирение технологических возможностей устройства за счет обеспечения оперативного изменения режимов шлифования путем смены притиров.

Поставленная цель достигается тем, что зажимные приспособления для притяра установлены на поворотном с воз10можностью фиксации, эксцентричном от носительно оси привода, диске, причем притиры поочередно кии0 1атически связаны с приводом.

На фиг. 1 приведен общий вид диска

15 с установленными на н&л притирами; на фиг. 2 - продольный разрез А-А фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б фиг. 2.

На диске 1 с помощью нажимных устройств 2 и 3 располагаются, напри20мер, два сферических притира 4 и 5 различных диаметров.

Притир 4 центрируется в сферических опорах б и 7, а щлгпф 5 - в опорах 8 и 9. Посредством поэодксяв 10 и 11 притяры квнематичес«и связаны с водипами, вьтопненнымя эаодно с шестернякш 12, 13, которые им,еют возможность поочередного зацепления с приводной шее терней 14, закрепленной на валу двигателя 15, раомешеняого в основании 16. Посад :учная поверкность 17 основания 16 являющаяся К направпякяцей при повороте диска, выполнена эксцентрично относительно оси ДБИГателя 15, Положение диска 4яксярувгся (фиксатор на чертеже не Показан). Привод притира 5 имеет промежуточную шестрешо 18. Диск 1 крепится к основанию 16 винтами 19. Устройство работает следуюиим образом. Один из пркпяров, например 4, устанавливается в зоне шлифования, при этом шестерня 12 входит в зацепле ние с приводной шестерней 14. Положение диска 1 фиксируется. В этот момен шестерня 18 благодаря эксцентриситету не входит в зацепление с приводной шестерней 14 и, следовательно, приШр 5 остается неподвижным. Последний подается в зону шлифования поворотом диска по часовой стрелке на 9О°, При этом шесте1яш 12 выходит из зацепления с приводной шестерней 14, а шестерня 18 входит с ней в зацепЛение,

Ч передавая движение через шестерню 13 луиШру 5. . Использование данной конструкшо позволяет (Xieparafao изменять режимы 1шшфования и создает условия обработки на одном станке полупроводниковых структур с различными толщинами эпи- таксиальных слоев, что сокрашает количество используемых станков. Формула изобретения Устройство для изготовления сферического шлифа, содержашее столик для размещения образца и притир, закрепленный в зажимном приспособлении и кинематически связанный с приводом, расположенным в основании, отличающееся тем, что, с целью расширения технологических возможностей устройства путем обеспечшия оперативного изменения режимов шлифования при использовании нескольких притиров, оно снабжено поворотным диском, закрепле нньгм на основании эксцентрично оси привода и несушим зажимные приспособления, установленные с возможностью поочередного взаимодействия с приводом. Источники информации, щХ Н51тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР Мг 701770, кл. В 24 В 5/00, 1977.

Vuz.2

6-6

V

Фиг.З